[發明專利]探針卡裝置在審
| 申請號： | 201410163458.9 | 申請日： | 2014-04-22 |
| 公開（公告）號： | CN103969475A | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發明（設計）人： | 沈茜;莫保章 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種探針卡裝置，包括探針卡和探針卡平臺，所述探針卡平臺具有凹槽，所述凹槽用于放置所述探針卡，其特征在于，所述探針卡的外側設置有至少一個接觸孔以便于放置或移動所述探針卡，所述接觸孔與所述凹槽相連通。
2.如權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述接觸孔的數目為多個，沿所述探針卡的外側一周對稱排布。
3.如權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述凹槽的形狀為半圓形、圓形、橢圓形中的一種或者其中的組合。
4.如權利要求3所述的探針卡裝置，其特征在于，所述凹槽的形狀為半圓形，所述凹槽的直徑范圍為2厘米，所述半圓形的直徑與所述探針卡的外側相切。
5.如權利要求1所述的探針卡裝置，其特征在于，所述凹槽利用切割技術對所述探針臺進行切割形成。
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