[發(fā)明專利]一種雙端固支石英梁諧振式真空度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410151107.6 | 申請日： | 2014-04-15 |
| 公開（公告）號： | CN103940548A | 公開（公告）日： | 2014-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 趙玉龍;程榮俊;李村;田邊 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 雙端固支 石英 諧振 真空 傳感器 | ||
1.一種雙端固支石英梁諧振式真空度傳感器，包括底座（6），底座（6）和外管殼（1）連接在一起，外管殼（1）內(nèi)腔和底座（6）接觸的凹槽內(nèi)配置有O型橡膠密封圈（4），外管殼（1）頂部的壓力孔與待測壓力相通，其特征在于：底座（6）頂端的凹槽內(nèi)連接有玻璃基底（3）和兩根電極柱（5），電極柱（5）穿過底座（6）伸出外管殼（1）外，玻璃基底（3）用環(huán)氧樹脂（10）粘接在底座（6）頂端的凹槽內(nèi)，玻璃基底（3）的上方配置有石英梁（2），石英梁（2）由兩端的第一基座（2-1）、第二基座（2-2）和中間的梁（2-5）連接構(gòu)成，玻璃基底（3）的頂部設(shè)有第一凸臺（3-1）、第二凸臺（3-2），底部設(shè)有凹槽（3-3），第一基座（2-1）底面用焊料（9）固定在第一凸臺（3-1）上，第二基座底面（2-2）用焊料（9）固定在第二凸臺（3-2）上，第一基座（2-1）正面沉積有第一壓焊塊（2-3），第二基座（2-2）正面沉積有第二壓焊塊（2-4），第一壓焊塊（2-3）通過超聲熱壓鍵合用金絲（8）與第一電極柱（5-1）連接，第二壓焊塊（2-4）通過超聲熱壓鍵合用金絲（8）與第二電極柱（5-2）連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙端固支石英梁諧振式真空度傳感器，其特征在于：所述的第一凸臺（3-1）、第二凸臺（3-2）是通過玻璃濕法腐蝕形成，深度為50～200μm。
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