[發(fā)明專利]伺服式加速度傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410146195.0 | 申請日： | 2014-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN104111352B | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 關(guān)淳 | 申請（專利權(quán)）人： | 理音株式會社 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11240 | 代理人： | 余剛,吳孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 伺服 加速度 傳感器 | ||
1.一種伺服式加速度傳感器，具備：振子部，根據(jù)加速度進行位移；框部，支撐所述振子部；位移檢測部，通過靜電電容的變化檢測所述振子部的位移；以及伺服電路部，根據(jù)所述位移檢測部檢測到的靜電電容的變化量，向設(shè)置于所述振子部的線圈供給控制所述振子部的位移的電流，所述伺服式加速度傳感器將所述伺服電路部供給的電流作為加速度輸出，
其特征在于，
所述振子部和所述框部通過由一對振子部用印刷基板和一對框部用印刷基板夾入金屬薄板部件而形成，
所述振子部的表面和所述框部的表面配置于同一平面，
所述振子部通過所述金屬薄板部件被所述框部支撐，
所述金屬薄板部件上形成有所述位移檢測部的電極配線部和可撓部，所述可撓部兼作所述線圈的配線部且能夠彎曲撓曲，
所述位移檢測部和兼作所述線圈的配線部的所述可撓部未電連接，
所述位移檢測部的殼體的表面接地，
所述位移檢測部的電極配線部具有未電連接的兩個電極配線部，
兼作所述線圈的配線部的所述可撓部具有未電連接的兩個可撓部，
兩個所述電極配線部以及兩個所述可撓部形成作為所述金屬薄板部件的一部分，
在所述振子部的前端側(cè)形成有凸部，
在所述框部的、所述凸部朝向的位置形成有切口部，
構(gòu)成所述凸部及所述切口部的所述金屬薄板部件分別從所述振子部用印刷基板及所述框部用印刷基板突出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于，
所述位移檢測部由在所述一對振子部用印刷基板上分別形成的電極和與這些電極相對的各個殼體構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于，
所述各個殼體中的至少一個構(gòu)成磁路。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于，
在所述框部與所述各個殼體之間夾入配置有墊片，通過所述墊片的厚度，設(shè)定所述位移檢測部的電極間間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于，
所述電極配線部至少一部分彎曲而形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的伺服式加速度傳感器，其特征在于，
所述金屬薄板部件的被所述振子部用印刷基板和所述框部用印刷基板夾著的面上形成有多個孔。
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