[發明專利]基于直流磁控濺射技術的干式軟電極及其制備工藝

有效

• 申請號: 201410138138.8
• 申請日: 2014-04-08
• 公開（公告）號: CN103876737A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 高發展;許倩
• 申請（專利權）人: 青島柏恩鴻泰電子科技有限公司
• 主分類號: A61B5/0478
• 分類號: A61B5/0478;C23C14/35
• 代理公司: 青島聯信知識產權代理事務所 37227
• 代理人: 段秀瑛;王中云

技術領域

本發明涉及醫療器械領域，具體的說是一種基于直流磁控濺射技術的干式軟電極及其制備工藝。?

背景技術

國際上已經有EGI、g.tech、Cognionics、NeuroSky、ANT、EasyCap等公司研發并生產銷售干電極及其相關產品。干電極的發明使腦電波采集技術有了一個巨大的進步。經典的干式電極做成針狀陣列，以壓入或者微侵入皮膚方法降低皮膚阻抗。電極材質為純金、純銀或者燒結銀/氯化銀Ag/AgCl。?

但其有如下兩個顯著缺點（1）結構缺點，堅硬、尖銳的針狀陣列刺入頭皮角質層，給患者或受試者帶來一定的刺痛感并容易引起感染。（2）材質缺點，金、銀是重金屬，適合在頭皮表面使用，刺入角質層容易使重金屬進入皮膚和血液，引起重金屬中毒。尤其是燒結銀/氯化銀Ag/Agcl是粉末狀銀粉和氯化銀粉的混合物很容易進入皮膚和血液。?

發明內容

根據上述不足之處，本發明的目的是提供一種信號穩定的基于直流磁控濺射技術的干式軟電極及其制備工藝。?

為實現上述目的，本發明的技術方案是：一種基于直流磁控濺射技術的干式軟電極，它包括基底，基底包括底座和位于底座上方的若干電極針，底座底部設有導電片，導電片設有導電線，并通過模套將導電片與基底底座緊密相連，模套設有供導電線通過的孔，其中，基底表面鍍有導電層。?

優選的是：所述的基底底座為圓形。?

優選的是：所述的基底為硅膠、橡膠或聚氨基甲酸酯。?

優選的是：孔設置在模套側面或底面。?

優選的是：所述的電極針均勻排布在底座上。?

優選的是：所述的電極針為針頭細針尾粗的形狀。?

優選的是：所述的電極針針頭為圓形或弧形。?

優選的是：所述的導電層為氮化鈦。?

本發明還提供一種基于直流磁控濺射技術的干式軟電極的制備方法，其制備步驟如下：?

（1）基底的制作：在模具中注塑橡膠或聚氨基甲酸酯材料，成型；?

（2）基底鍍膜；?

（3）安裝模套：將導電片與基底底座緊貼，把導電片的導電線穿過模套側面的孔，并用模套將導電片與基底底座固定；?

其中，基底鍍膜又有以下幾個步驟：①基底清洗，采用丙酮、酒精和去離子水的比例為8:2:1的比例在超聲波中清洗10min；②將基底置于多靶磁控濺射鍍膜機的真空室內，抽真空，真空度控制在1*10-3Pa以上，加熱溫度為150-200℃；③預濺射，單獨向濺射室通入氬氣，壓強約為1.0Pa，輝光放電后對鈦靶表面進行預濺射15min；④濺射，控制氬氣與氮氣流量比例為3:1，濺射時間為20-40min；⑤退火，退火的溫度選擇在400℃以下。?

本發明的有益效果在于：?

1、采集腦信號的可靠性，靈敏度。氮化鈦是良好的導體，阻抗極低，電阻率為22*10^-6Ω/cm²。室溫下氮化鈦具有很好的化學穩定性和生物相容性。氮化鈦干式軟電極良好的性能保證了實時采集的腦電信號的靈敏性、準確性。?

2、電極鍍層附著力強，附著均勻，厚度可控，顏色可控。在軟體硅膠、橡膠或聚氨基甲酸酯材料上，采用磁控濺射技術鍍膜，根據濺射的時間不同，可控制鍍膜的厚度。根據氮氣、氬氣的比例不同，可以控制鍍層顏色。?

3、電極柔軟，舒適性好。式軟電極是橡膠或聚氨基甲酸酯材料，該材料柔軟，患者或受試者佩戴舒適，無壓迫感。?

4、巧妙的結構設計。針狀電極結構設計，更利于電極與頭皮的接觸。尤其適合頭發長的患者或受試者。?

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖一。?

圖2是本發明的結構示意圖二。?

圖3是本發明的俯視圖。?

圖4為鍍膜的沉淀速率隨工作壓強的變化曲線。?

圖5圖為鍍膜沉淀速率隨濺射功率的變化曲線。?

圖中，1-基底；2-底座；3-電極針；4-導電片；5-模套；6-孔；7-導電線。?

具體實施方式

下面結合具體實施例對本發明做進一步說明。?