[發明專利]一種提拉法生長人工晶體的裝置

有效

• 申請號: 201410117266.4
• 申請日: 2014-03-27
• 公開（公告）號: CN103911653A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 劉洋;王彪;馬德才
• 申請（專利權）人: 中山大學
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B15/28
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 禹小明

1.一種提拉法生長人工晶體的裝置，包括爐體、晶體提升機構、晶轉裝置和與晶體提升機構連接的提升平臺，其特征在于，還包括雙支撐結構，所述雙支撐結構包括稱重翻板和等高安裝在提升平臺上的稱重支座、稱重傳感器，稱重支座和稱重傳感器位于稱重翻板的下方并對稱地與稱重翻板兩端連接形成稱重翻板的兩個支撐點，晶轉裝置安裝在稱重翻板上方且其重心落于稱重翻板的中心。

2.根據權利要求1所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述稱重翻板一端通過鉸鏈機構與稱重支座鉸接，其另一端通過接觸桿與稱重傳感器連接。

3.根據權利要求2所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述接觸桿為球形接觸桿，其一端為半球形結構，該半球形結構與稱重傳感器連接形成點面接觸。

4.根據權利要求1所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述晶轉裝置包括晶體提拉桿、晶體旋轉機構和與晶體旋轉機構連接的晶轉傳動支撐裝置，晶轉傳動支撐裝置安裝在稱重翻板上，晶體旋轉機構和晶轉傳動支撐裝置均位于稱重翻板上方且重心落在稱重翻板的中心，晶體提拉桿一端與晶轉傳動支撐裝置連接，其另一端向下穿過稱重翻板上的中心孔和提升平臺上的中心孔進入爐體內部。

5.?根據權利要求4所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述晶體旋轉機構通過法蘭連接于晶轉傳動支撐裝置上。

6.根據權利要求4所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，還包括相互扣合的上蓋板和下蓋板，晶轉裝置、雙支撐機構和提升平臺位于上蓋板和下蓋板扣合后的空間內，晶體提拉桿一端穿過提升平臺上的中心孔后還穿過下蓋板進入爐體內部。

7.根據權利要求6所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述下蓋板下方通過波紋管與爐體連通，晶體提拉桿一端穿過下蓋板后還穿過波紋管進入爐體內部。

8.根據權利要求1所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述稱重傳感器為電磁力傳感器。

9.根據權利要求1至7任一項所述的提拉法生長人工晶體的裝置，其特征在于，所述晶體提升機構包括晶升電機、晶升絲桿和滑臺，晶升電機與晶升絲桿連接，滑臺可滑動安裝在晶升絲桿上且滑臺與提升平臺連接。