[發(fā)明專利]一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410116780.6
• 申請(qǐng)日: 2014-03-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103913479A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曾琪峰;楊帆;吳宏圣;牛文達(dá);孫強(qiáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01N25/16
• 分類號(hào): G01N25/16
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 陶尊新

1.一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，包括封閉式箱體（1），所述箱用于恒定箱體（1）內(nèi)空氣溫度的恒溫裝置（2），用于測(cè)量待測(cè)光柵尺讀數(shù)頭位置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)長(zhǎng)裝置（3），用于測(cè)量待測(cè)光柵尺的主尺（5-1）材料溫度的第二溫度測(cè)量元件（4）以及信號(hào)處理裝置；其特征是，將待測(cè)光柵尺讀數(shù)相同的點(diǎn)定位主尺（5-1）上不同溫度的同一待測(cè)點(diǎn)；標(biāo)準(zhǔn)測(cè)長(zhǎng)裝置測(cè)量待測(cè)光柵尺上不同待測(cè)點(diǎn)間的距離，所述信號(hào)處理裝置（9）根據(jù)在不同的溫度點(diǎn)上，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)長(zhǎng)裝置（3）測(cè)量的測(cè)量點(diǎn)之間的距離和該距離在不同溫度下的變化量計(jì)算該兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)之間光柵尺段的熱膨脹系數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，所述恒溫裝置（2）包括第一溫度測(cè)量元件（2-2），用于測(cè)量該測(cè)量箱體內(nèi)部的空氣溫度，溫度控制元件（2-1），根據(jù)第一溫度測(cè)量元件（2-2）的讀數(shù)，對(duì)箱體（1）進(jìn)行加溫或者制冷。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，還包括光柵尺固定裝置（6），用于固定待檢測(cè)光柵尺。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，待測(cè)光柵尺為絕對(duì)式光柵尺，或者為帶參考標(biāo)記的增量式光柵尺。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，所述標(biāo)準(zhǔn)測(cè)長(zhǎng)裝置（3）為具有溫度補(bǔ)償功能的激光干涉儀或者光柵尺。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，所述待檢測(cè)光柵尺（5）為反射式的或者透射式的。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，在同一溫度點(diǎn)附近，對(duì)于待檢測(cè)的光柵尺（5）的兩個(gè)的待測(cè)點(diǎn)，以兩個(gè)不同溫度，分別測(cè)量?jī)蓚€(gè)溫度值和兩端的待測(cè)點(diǎn)之間的距離，作為一組測(cè)量數(shù)據(jù)，并計(jì)算對(duì)應(yīng)的熱膨脹系數(shù)，重復(fù)測(cè)量n次，n大于等于2，將n次得到的熱膨脹系數(shù)的算術(shù)平均值作為該兩個(gè)待測(cè)點(diǎn)間的熱膨脹系數(shù)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于檢測(cè)光柵尺熱膨脹系數(shù)的裝置，其特征在于，在同一溫度附近，在待檢測(cè)光柵尺（5）上設(shè)置m個(gè)待測(cè)點(diǎn)，m大于等于3；對(duì)相鄰的待測(cè)點(diǎn)測(cè)量熱膨脹系數(shù)，獲得該溫度下不同區(qū)段的熱膨脹系數(shù)。