[發明專利]壓電元件模塊、以及壓電元件模塊的制造方法

有效

• 申請號: 201410116108.7
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN104078452B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 古林智一;西脅學
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L25/03
• 分類號: H01L25/03;B06B1/06;B41J2/045
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 舒艷君,李洋

1.一種壓電元件模塊，其特征在于，

在同一基板上具備：具有第一壓電體層的第一壓電元件、和具有與所述第一壓電體層不同的第二壓電體層的第二壓電元件，

所述第一壓電體層的d常量比所述第二壓電體層的d常量大。

2.根據權利要求1所述的壓電元件模塊，其特征在于，

所述第一壓電元件與所述第二壓電元件被并列設置在同一平面上。

3.一種超聲波換能器，其特征在于，

具備權利要求1或者2所述的壓電元件模塊，所述壓電元件模塊的第一壓電體層的g常量比所述壓電元件模塊的第二壓電體層的g常量小，將所述第一壓電元件作為發送部，將所述第二壓電元件作為接收部。

4.一種超聲波設備，其特征在于，具備：

基板，其具有開口；和

被設置在所述基板上的權利要求3所述的超聲波換能器。

5.一種液體噴射頭，其特征在于，具備：

流路形成基板，其被設置有與噴射液體的噴嘴開口連通的壓力產生室；和

被設置在該流路形成基板上的權利要求1或者2所述的壓電元件模塊。

6.一種液體噴射裝置，其特征在于，

具備權利要求5所述的液體噴射頭。

7.一種壓電元件模塊的制造方法，其特征在于，

該壓電元件模塊的制造方法為在同一基板上具備：具有第一壓電體層的第一壓電元件、和具有與所述第一壓電體層不同的第二壓電體層的第二壓電元件，且所述第一壓電體層的d常量比所述第二壓電體層的d常量大的壓電元件模塊的制造方法，

具備：

將所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的任意一方的第一電極圖案化為單個電極的工序；

涂覆所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的任意一方的壓電體層并進行圖案化的工序；

將所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的任意一方的第二電極設置為共用電極的工序；

將所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的另一方的第一電極圖案化為單個電極的工序；

涂覆所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的另一方的壓電體層并進行圖案化的工序；以及

將所述第一壓電元件以及所述第二壓電元件的另一方的第二電極設置為共用電極的工序。