[發明專利]基于F-P半導體激光器和薄膜F-P濾光片級聯的光學傳感器有效
| 申請號： | 201410112661.3 | 申請日： | 2014-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN103884683A | 公開（公告）日： | 2014-06-25 |
| 發明（設計）人： | 李明宇;周龍 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01N21/41 | 分類號： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 周烽 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 半導體激光器 薄膜 濾光 級聯 光學 傳感器 | ||
1.一種基于F-P半導體激光器和薄膜F-P濾光片級聯的光學傳感器，其特征在于，包括一個F-P半導體激光器（1）、一個準直透鏡（2）、一個具有周期性濾波譜的薄膜F-P濾光片面陣列（3）、一個成像透鏡（4）和一個探測器面陣列（5）；其中，所述一個具有周期性濾波譜的薄膜F-P濾光片面陣列（3）、成像透鏡（4）以及探測器面陣列（5）組成一個具有周期性濾波譜的濾波器面陣列（51）；所述F-P半導體激光器（1）的光源經過準直透鏡（2）后成為平行光，垂直入射到薄膜F-P濾光片面陣列（3），透射光經過成像透鏡（4）成像在探測器面陣列（5），探測器面陣列（5）置于成像透鏡（4）的焦平面位置處。
2.根據權利要求1所述基于F-P半導體激光器和薄膜F-P濾光片級聯的光學傳感器，其特征在于，薄膜F-P濾光片面陣列（3）的自由光譜范圍與F-P半導體激光器（1）相鄰模式的頻率間隔相等或相似。
3.根據權利要求1所述基于F-P半導體激光器和薄膜F-P濾光片級聯的光學傳感器，其特征在于，所述具有周期性濾波譜的薄膜F-P濾光片面陣列（3）中兩個高反射膜層（31）之間的間隔層作為傳感區域（32）。
4.根據權利要求1所述基于F-P半導體激光器和薄膜F-P濾光片級聯的光學傳感器，其特征在于，薄膜F-P濾光片面陣列（3）中的每一個薄膜F-P濾光片，經過成像透鏡（4）一一對應地成像在探測器面陣列（5）中的一個探測器像元上。
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