[發明專利]一種基板的制備方法有效
| 申請號： | 201410110934.0 | 申請日： | 2014-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN103926809A | 公開（公告）日： | 2014-07-16 |
| 發明（設計）人： | 舒適;張鋒;谷敬霞;姚琪;曹占峰;賀芳;鄧偉 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基板的制備方法，其特征在于，包括：
形成對位標記；
形成黑色樹脂層，所述黑色樹脂層覆蓋所述對位標記；
在所述基板形成有所述對位標記的相對面設置導熱觸點，所述導熱觸點對應所述對位標記設置；
對所述黑色樹脂層進行前烘處理。
2.根據權利要求1所述的基板的制備方法，其特征在于，在所述基板形成有所述對位標記的相對面設置導熱觸點之前，還包括：
將所述導熱觸點加熱至所述前烘的溫度。
3.根據權利要求1所述的基板的制備方法，其特征在于，
所述導熱觸點的材質為金屬。
4.根據權利要求1所述的基板的制備方法，其特征在于，對所述黑色樹脂層進行前烘處理之后，還包括：
對經過前烘處理的黑色樹脂層進行構圖工藝，形成黑矩陣的圖案；
對所述黑矩陣的圖案進行后烘處理，形成黑矩陣。
5.根據權利要求1或2所述的基板的制備方法，其特征在于，
所述前烘的溫度為80至120℃。
6.根據權利要求1所述的基板的制備方法，其特征在于，
所述黑色樹脂層為黑色光刻膠層。
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