[發明專利]一種基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法

有效

• 申請號: 201410110901.6
• 申請日: 2014-03-24
• 公開（公告）號: CN103837332A
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 楊若夫;石明亮;敖明武;董洪舟;楊春平
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 林輝輪;王蕓

1.一種基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，在移相干涉技術中將入射光正交偏振分解為一路移相參考臂和一路信號臂從而共光路入射進入液晶光學器件進行液晶調制相位的檢測，并采用共軛光學系統將液晶光學器件出射端與面陣探測器成相面共軛。

2.根據權利要求1所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，偏振方向由半波片控制的線偏振激光器發出的激光，經偏振分光棱鏡分束，透射出p光和s光?，所述透射的p光經快軸與x軸夾角為45°的第一1/4波片后為左旋圓偏振光，經反射鏡反射回第一1/4波片后為s光，再次經所述偏振分光棱鏡后反射出的該路光束為所述信號臂；所述透射的s光經快軸與X軸夾角為45°的第二1/4波片后，壓電陶瓷反射鏡反射并再次穿過第二1/4波片后成為p光，透射過所述偏振分光棱鏡后該路光束為所述參考臂。

3.根據權利要求2所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，所述參考臂上的壓電陶瓷反射鏡產生精確的亞微米級的移動，從而在兩個臂上產生正交線偏振的相移。

4.根據權利要求2或3所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，對于透射式液晶光學器件的檢測，讓液晶分子長軸方向或偏振方向與s光偏振方向平行，當液晶驅動器施加電壓給透射式液晶光學器件后，液晶分子長軸將沿電場方向轉動，從而在入射s光上引入附加相移，而對于入射到所述透射式液晶光學器件的p光則不會引入附加相移，由此實現了正交偏振信號光與參考光的非等效的相位調制。

5.根據權利要求4所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，對于強衍射器件，采用共軛光學系統將透射式液晶光學器件出射端與面陣探測器成相面共軛，使從透射式液晶光學器件出射端衍射的各級光束經所述共軛光學系統后再次在面陣探測器感光面上復現，而對于沒有相位調制的p偏振光，同樣經過所述共軛光學系統后入射到面陣探測器感光面上，在面陣探測器前設置偏振方向與X軸成一定夾角的檢偏器，從而使s光和p光在檢偏器起偏方向上實現干涉，面陣探測器對該干涉條紋進行采集，利用移相干涉技術可復原液晶的調制相位。

6.根據權利要求5所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，對于反射式液晶光學器件的調制相位檢測，與透射式液晶光學器件的調制相位檢測的不同之處在于：在所述反射式液晶光學器件前面放入分束器。

7.根據權利要求6所述的基于正交移相共軛干涉儀方法的液晶型光學器件相位檢測方法，其特征在于，為提高干涉圖提取效果，對所述分束器入射面鍍增透膜，所述分束器透射面為分光膜。