[發明專利]一種大行程的高精度微納夾持器

有效

• 申請號: 201410102540.0
• 申請日: 2014-03-19
• 公開（公告）號: CN103929092B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 婁軍強;魏燕定;楊依領;謝鋒然
• 申請（專利權）人: 寧波大學
• 主分類號: H02N2/10
• 分類號: H02N2/10;H02N2/12
• 代理公司: 寧波奧圣專利代理事務所(普通合伙)33226
• 代理人: 蔡菡華

1.一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于包括兩根豎直設置的圓柱狀的扭轉臂，所述的扭轉臂的下端固定設置有基座，所述的扭轉臂的上端固定設置有水平設置的夾持臂，兩根所述的夾持臂相對設置且相平行，所述的扭轉臂上固定設置有壓電扭轉驅動器，所述的夾持臂的側面上固定設置有壓電彎曲驅動器。

2.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的壓電扭轉驅動器為壓電陶瓷扭轉驅動器或壓電纖維扭轉驅動器。

3.如權利要求2所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的壓電陶瓷扭轉驅動器包括至少四片瓦形的第一壓電陶瓷片，所述的第一壓電陶瓷片的數量為偶數，所述的第一壓電陶瓷片粘貼在所述的扭轉臂的外圓周面上且相互圍成圓管狀，所述的第一壓電陶瓷片的底部與所述的扭轉臂的下端對齊，相鄰的兩個所述的第一壓電陶瓷片的極化方向相反，相鄰的兩個所述的第一壓電陶瓷片之間固定設置有電極，相鄰的兩個所述的電極的極性相反。

4.如權利要求2所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的壓電纖維扭轉驅動器由壓電纖維薄膜沿所述的扭轉臂的外圓周面繞一周而成，所述的壓電纖維薄膜粘貼固定在所述的扭轉臂的外圓周面上，所述的壓電纖維扭轉驅動器為一個或多個。

5.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的扭轉臂為空心圓管。

6.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的壓電彎曲驅動器為形狀和尺寸均與所述的夾持臂相同的第二壓電陶瓷片，位于兩個夾持臂上的第二壓電陶瓷片的電極極性相反，所述的第二壓電陶瓷片粘貼固定在所述的夾持臂的外側面或兩側面上且后端與所述的夾持臂的根部對齊，位于同一個夾持臂兩側面上的第二壓電陶瓷片的電極極性相同。

7.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的扭轉臂和所述的夾持臂的材料為單晶硅、多晶硅或優質合金。

8.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于所述的夾持臂的前端夾持面上設置有摩擦紋。

9.如權利要求1所述的一種大行程的高精度微納夾持器，其特征在于兩個所述的基座之間固定設置有尺寸預調塊，所述的尺寸預調塊由多片調節片并排組成。