[發(fā)明專利]現(xiàn)場超高純度化學(xué)品或氣體的純化

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410099104.2
• 申請日: 2014-03-17
• 公開（公告）號: CN104043381A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: T·E·康威;V·Y·格施泰恩;J·A·霍普金斯;B·M·林登穆斯;T·M·布斯
• 申請（專利權(quán)）人: 氣體產(chǎn)品與化學(xué)公司
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01D3/00;C01C1/02
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 吳亦華

1.一種現(xiàn)場純化系統(tǒng)，其包括：

1）包括待純化化學(xué)品或氣體的進料流；

2）至少兩個用于接收和純化所述進料流的純化單元；

3）至少一個從所述純化單元流出的純化流；

4）用于接收所述至少一個純化流的自動化的流控制系統(tǒng)；其中所述所述自動化的流控制系統(tǒng)包括：輸出產(chǎn)品接點和反饋接點；

5）至少一個從所述自動化的流控制系統(tǒng)流出的產(chǎn)品流；和

6）至少一個從所述自動化的流控制系統(tǒng)流出并流入所述至少兩個純化單元中的至少一個中的反饋流。

2.權(quán)利要求1的現(xiàn)場純化系統(tǒng)，其進一步包括：

7）針對所述至少兩個純化單元中的每一個的至少一個排氣出口，以除去揮發(fā)性雜質(zhì)；和

8）針對所述至少兩個純化單元中的每一個的至少一個排泄出口，以除去重質(zhì)雜質(zhì)。

3.前述權(quán)利要求任一項的現(xiàn)場純化系統(tǒng)，其中所述待純化化學(xué)品或氣體選自NH₃、HCl、Cl₂、NF₃、O₂、N₂、CO₂、及其組合；優(yōu)選NH₃。

4.前述權(quán)利要求任一項的現(xiàn)場純化系統(tǒng)，其中所述至少兩個純化單元中的每一個獨立地選自過濾器、吸收床、蒸餾塔、冷凝器、蒸發(fā)器和膜；優(yōu)選其中所述至少兩個純化單元中的一個是蒸餾塔，或所述至少兩個純化單元中的兩個是共用同一液體收集器的蒸餾塔。

5.一種現(xiàn)場純化化學(xué)品或氣體的方法，其包括以下步驟：

提供含有所述化學(xué)品或氣體的進料流；

提供現(xiàn)場純化系統(tǒng)，所述現(xiàn)場純化系統(tǒng)包括：

1）至少兩個純化單元；和

2）自動化的流控制系統(tǒng)，所述自動化的流控制系統(tǒng)包括：輸出產(chǎn)品接點和反饋接點；

使所述進料流流過所述至少兩個純化單元，以從所述至少兩個純化單元中的最后純化的單元中提供純化流；和

將所述純化流送至所述自動化的流控制系統(tǒng)，以根據(jù)產(chǎn)品需求將所述純化流分成輸出產(chǎn)品流和反饋流；

其中所述輸出產(chǎn)品流維持預(yù)定的純度范圍，同時所述產(chǎn)品需求在預(yù)定的最大生產(chǎn)能力的0%至100%之間變化。

6.權(quán)利要求5的方法，其中所述現(xiàn)場純化系統(tǒng)進一步包括：

3）針對每個純化單元的至少一個排氣出口，以除去揮發(fā)性雜質(zhì)；和

4）針對每個純化單元的至少一個排泄出口，以除去重質(zhì)雜質(zhì)。

7.權(quán)利要求5或6的方法，其中所述化學(xué)品或氣體選自NH₃、HCl、Cl₂、NF₃、O₂、N₂、CO₂、及其組合；優(yōu)選NH₃。

8.權(quán)利要求5-7任一項的方法，其中所述至少兩個純化單元中的每一個獨立地選自過濾器、吸收床、蒸餾塔、冷凝器、蒸發(fā)器和膜；優(yōu)選其中所述至少兩個純化單元中的一個是蒸餾塔，或所述至少兩個純化單元中的兩個是共用同一液體收集器的蒸餾塔。

9.權(quán)利要求5-8任一項的方法，其中將所述反饋流送回所述至少兩個純化單元中的最后純化單元中。

10.權(quán)利要求5-9任一項的方法，其中所述純化流含有液體和蒸氣。

11.權(quán)利要求5-10任一項的方法，其中所述產(chǎn)品流和所述反饋流獨立地含有液體、蒸氣、及其組合。

12.權(quán)利要求5-11任一項的方法，其中將所述反饋流送回所述至少兩個純化單元中的至少最后純化單元中，以保持固定的液體與蒸氣比，用于維持所述輸出產(chǎn)品流的預(yù)定的純度范圍，同時所述產(chǎn)品需求在預(yù)定的最大生產(chǎn)能力的0%至100%之間變化。

13.權(quán)利要求5-12任一項的方法，其中所述產(chǎn)品需求瞬時變化。

14.權(quán)利要求5-13任一項的方法，其中所述輸出產(chǎn)品流給生產(chǎn)流程線、存儲和可運輸容器補給站提供輸出。