[發(fā)明專利]確定等離子體系統(tǒng)中的故障裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410097999.6
• 申請日: 2014-03-17
• 公開（公告）號: CN104051215B
• 公開（公告）日: 2017-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 約翰·C·小瓦爾考;布拉德福德·J·林達克;亞瑟·薩托
• 申請（專利權(quán)）人: 朗姆研究公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 上海勝康律師事務(wù)所31263
• 代理人: 李獻忠

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及確定等離子體系統(tǒng)中的故障裝置。

背景技術(shù)

在基于等離子體的系統(tǒng)中，射頻（RF）發(fā)生器產(chǎn)生通過阻抗匹配電路被提供給等離子體室的RF信號以在室內(nèi)產(chǎn)生等離子體?；诘入x子體的系統(tǒng)包括有利于RF信號的產(chǎn)生、RF信號的傳輸、以及等離子體的產(chǎn)生的多個電路元件。

電路元件可能會出現(xiàn)故障。例如，電路元件可能無法工作或錯誤地運行，從而產(chǎn)生錯誤的結(jié)果。這樣的結(jié)果可以包括等離子體的誤阻抗等。

為了判定在基于等離子體的系統(tǒng)中是否有故障，傳感器用于在阻抗匹配電路的輸出的點處。然而，該傳感器非常昂貴。例如，一些實體在多個基于等離子體的系統(tǒng)中使用同一傳感器，以避免對于每個基于等離子體的系統(tǒng)的傳感器的購買成本。

在這種背景下，提出了本公開中所描述的實施方式。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的實施方式提供了用于確定等離子體系統(tǒng)中的故障裝置的設(shè)備、方法和計算機程序。應(yīng)當理解，本發(fā)明的實施方式能以多種方式實現(xiàn)，例如，以工藝、設(shè)備、系統(tǒng)、硬件、或者計算機可讀介質(zhì)上的方法實現(xiàn)。下面描述若干實施方式。

在一些實施方式中，用于確定故障裝置的系統(tǒng)包括一個或多個等離子體處理工具。每個等離子體處理工具包括用于處理工件的一個或多個等離子體模塊。每個等離子體處理工具包括用于將所述工件在所述等離子體模塊中的兩個之間傳送的傳輸模塊。每個等離子體模塊包括功率傳輸部分和處理部分。所述功率傳輸部分用于產(chǎn)生射頻（RF）功率，以提供到所述處理部分，從而產(chǎn)生等離子體。所述系統(tǒng)包括耦合到所述一個或多個工具的計算設(shè)備。所述計算設(shè)備包括處理器。所述處理器判定所述等離子體模塊中的任何一個是否在限制范圍內(nèi)操作，以及響應(yīng)于判定所述等離子體模塊不在所述限制范圍內(nèi)操作確定在所述功率傳輸部分的輸出處的變量的值。當所述功率傳輸部分與已知負載耦合時確定該值。所述處理器將所確定的值與所述變量的預(yù)記錄值比較，以判定所確定的值是否在所述預(yù)記錄值的范圍之外。響應(yīng)于判定所確定的值是在所述預(yù)記錄值的所述范圍之外，所述處理器確定故障裝置在所述功率傳輸部分的輸入和所述功率傳輸部分的輸出之間。

在一些實施方式中，預(yù)記錄值包括使用預(yù)設(shè)公式確定的值。在一實施方式中，預(yù)設(shè)公式是標準。標準的示例包括由開發(fā)用于傳感器的標準的協(xié)會開發(fā)的標準。標準的另一示例包括美國國家標準技術(shù)研究院（NIST）標準。

在一實施方式中，描述了用于確定等離子體系統(tǒng)中的故障裝置的方法。該方法包括接收在所述等離子體系統(tǒng)的等離子體室內(nèi)是否產(chǎn)生等離子體的指示，以及響應(yīng)于接收到產(chǎn)生所述等離子體的所述指示，判定所述等離子體系統(tǒng)是否在限制范圍內(nèi)操作。在所述等離子體系統(tǒng)包括位于所述等離子體系統(tǒng)的所述等離子體室和RF發(fā)生器之間的阻抗匹配電路時，執(zhí)行判定所述等離子體系統(tǒng)是否在所述限制范圍內(nèi)的操作。并且，在所述等離子體系統(tǒng)包括將所述阻抗匹配電路耦合到所述等離子體室的RF傳輸線時，執(zhí)行判定所述等離子體系統(tǒng)是否在所述限制范圍內(nèi)的操作。所述方法包括響應(yīng)于判定所述等離子體系統(tǒng)不在所述限制范圍內(nèi)操作，確定在所述RF傳輸線的節(jié)點處的變量的值。在所述阻抗匹配電路經(jīng)由RF傳輸線與已知負載耦合時執(zhí)行確定所述變量的所述值的操作。所述方法包括將所確定的值與所述變量的預(yù)記錄值進行比較，判定所確定的值是否在所述預(yù)記錄值的范圍之外，以及響應(yīng)于判定所確定的值在所述預(yù)記錄值的所述范圍之外，確定所述故障裝置在所述RF發(fā)生器的輸入和所述節(jié)點之間。所述方法由一個或多個處理器執(zhí)行。

描述了用于確定等離子體系統(tǒng)中的故障裝置的方法。該方法包括：接收在所述等離子體系統(tǒng)中的等離子體室中是否產(chǎn)生等離子體的指示。所述等離子體系統(tǒng)包括處理部分和功率傳輸部分。所述方法包括響應(yīng)于接收到產(chǎn)生所述等離子體的指示，判定所述等離子體系統(tǒng)是否在限制范圍內(nèi)操作。所述方法包括當所述處理部分從所述功率傳輸部分解耦時，確定在所述功率傳輸部分的輸出處的變量的值。所述方法包括將所確定的值與所述變量的預(yù)記錄值相比較，判定所確定的值是否在所述預(yù)記錄值的范圍之外，并響應(yīng)于判定所確定的值在預(yù)記錄值的所述范圍之外，確定所述故障裝置在所述功率傳輸部分的輸入和所述功率傳輸部分的輸出之間。