[發(fā)明專利]用于洗滌器的副產(chǎn)物去除裝置和包括該裝置的等離子洗滌器

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410097660.6
• 申請(qǐng)日: 2014-03-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104056794A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李載明;成哲鉉;徐榮源
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 永進(jìn)艾恩迪有限公司
• 主分類號(hào): B08B1/04
• 分類號(hào): B08B1/04
• 代理公司: 上海一平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31266
• 代理人: 馬莉華;崔佳佳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于等離子洗滌器的副產(chǎn)物去除裝置，更具體地涉及有效去除副產(chǎn)物，如當(dāng)燃燒有害氣體時(shí)沉積在腔室內(nèi)部的粉末的副產(chǎn)物去除裝置，和具有該副產(chǎn)物去除裝置的等離子洗滌器(plasma scrubber)。

背景技術(shù)

在制造半導(dǎo)體和LCD過(guò)程中排出的有害氣體是劇毒、易爆和腐蝕性的，因此當(dāng)有害氣體直接排放到大氣中，有害氣體不僅對(duì)人體有害，而且可能引起污染環(huán)境。法律已經(jīng)強(qiáng)制規(guī)定：有害氣體必須經(jīng)過(guò)凈化使有害成分的濃度低于容許水平后才能排放到大氣中。

圖1是示意性示出通過(guò)連接管道30連接的水處理裝置60和燃燒室50的安裝狀態(tài)的立體圖。圖2(a)-(c)為照片，示出沉積在圖1所示點(diǎn)A、B和C的副產(chǎn)物。由于有害氣體燃燒時(shí)生成副產(chǎn)物如粉末(粉塵)，如圖2所示，副產(chǎn)物集中沉積中在火焰加熱的燃燒室50的側(cè)壁上部(C點(diǎn))(參照?qǐng)D2(c))。同時(shí)，可以從照片確認(rèn)，由于燃燒氣體的瓶頸現(xiàn)象導(dǎo)致停留時(shí)間有延遲，大量副產(chǎn)物還沉積在連接管道30的入口處(點(diǎn)B)和出口處(A點(diǎn))(參見(jiàn)圖2(b)和(c))。沉積的副產(chǎn)物堵塞或阻礙各種氣體流動(dòng)，從而顯著降低等離子洗滌器10的有害氣體凈化效率。此外，由于通常應(yīng)每天清潔一次燃燒室的內(nèi)壁表面，以除去沉積在燃燒室50上的副產(chǎn)物，因此存在必須停止等離子體洗滌器10操作的問(wèn)題。

為了解決這個(gè)問(wèn)題，迫切需要開(kāi)發(fā)一種裝置，能夠有效去除沉積在燃燒室50和通道30上的副產(chǎn)物，使得各種氣體從中通過(guò)，而不停止等離子洗滌器10的操作。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

專利文獻(xiàn)1：韓國(guó)專利公開(kāi)公告號(hào).2010-0137663(2010年12月31日)

專利文獻(xiàn)2：韓國(guó)專利公開(kāi)公告號(hào).2010-0137661(2010年12月31日)

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問(wèn)題。本發(fā)明的目的是提供一種副產(chǎn)物去除裝置，能夠有效去除沉積在燃燒室和氣體管道上的副產(chǎn)物，而不停止等離子洗滌器的操作，且提供一種具有該副產(chǎn)物去除裝置的等離子洗滌器。

為實(shí)現(xiàn)該目的，本發(fā)明一方面提供一種用于洗滌器的副產(chǎn)物去除裝置，包括連接到燃燒室上端的旋轉(zhuǎn)支撐件，可沿其內(nèi)形成火焰的反應(yīng)空間的外周旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)支撐件具有在其中部形成的通孔；連接到所述旋轉(zhuǎn)支撐件的驅(qū)動(dòng)單元，向所述旋轉(zhuǎn)支撐件傳遞旋轉(zhuǎn)力；和第一副產(chǎn)物去除部件，從所述旋轉(zhuǎn)支撐件的底表面向下延伸，從而去除沉積在燃燒室的側(cè)壁內(nèi)表面上的副產(chǎn)物。

優(yōu)選地，所述副產(chǎn)物去除裝置還包括第二副產(chǎn)物去除部件，從所述旋轉(zhuǎn)支撐件的頂表面向上延伸，從而去除沉積在氣體管道上的副產(chǎn)物。

優(yōu)選地，提供多個(gè)所述第一副產(chǎn)物去除部件，第一副產(chǎn)物去除部件各自安裝在所述旋轉(zhuǎn)支撐件的底表面，沿著所述旋轉(zhuǎn)支撐件的圓周方向彼此隔開(kāi)預(yù)定間隔。

優(yōu)選地，提供多個(gè)所述第二副產(chǎn)物去除部件，第二副產(chǎn)物去除部件各自安裝在所述旋轉(zhuǎn)支撐件的頂表面，沿著所述旋轉(zhuǎn)支撐件的圓周方向彼此隔開(kāi)預(yù)定間隔。

優(yōu)選地，所述第一副產(chǎn)物去除部件形成為桿狀，并且所述第一副產(chǎn)物去除部件具有沿徑向向外突出的葉片。

優(yōu)選地，所述第二副產(chǎn)物去除部件形成為桿狀。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)單元包括馬達(dá)和連接到所述馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)齒輪，并且所述旋轉(zhuǎn)支撐件與所述驅(qū)動(dòng)齒輪相嚙合以轉(zhuǎn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)單元包括在氣缸內(nèi)作往復(fù)平移運(yùn)動(dòng)的活塞桿，和連桿，連桿的一端可旋轉(zhuǎn)地連接到所述活塞桿，另一端可旋轉(zhuǎn)地連接到所述旋轉(zhuǎn)支撐件。

優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)支撐件或所述第一副產(chǎn)物去除部件由SUS310S制成。

優(yōu)選地，所述副產(chǎn)物去除部件由SUS310S制成。

優(yōu)選地，所述副產(chǎn)物去除裝置還包括第三副產(chǎn)物去除部件，用于去除沉積在連接所述燃燒室的下端和水處理裝置的連接管道上的副產(chǎn)物。

優(yōu)選地，所述第三副產(chǎn)物去除部件為U形，且由馬達(dá)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供一種等離子洗滌器，包括流入管，有害氣體通過(guò)該管進(jìn)入；等離子發(fā)生器，用于通過(guò)陰極電極和陽(yáng)極電極在反應(yīng)空間內(nèi)產(chǎn)生的火焰來(lái)凈化有害氣體；燃燒室，有害氣體在所述燃燒室內(nèi)燃燒被凈化；和副產(chǎn)物去除裝置，其中，所述副產(chǎn)物去除裝置包括連接到燃燒室上端的旋轉(zhuǎn)支撐件，可沿其內(nèi)形成火焰的反應(yīng)空間的外周旋轉(zhuǎn)，所述旋轉(zhuǎn)支撐件具有在其中心部分形成的通孔；連接到所述旋轉(zhuǎn)支撐件的驅(qū)動(dòng)單元，向所述旋轉(zhuǎn)支撐件傳遞旋轉(zhuǎn)力；和第一副產(chǎn)物去除部件，從所述旋轉(zhuǎn)支撐件的底表面向下延伸，從而去除沉積在燃燒室的側(cè)壁內(nèi)表面上的副產(chǎn)物。