[發明專利]一種掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 201410090890.X
• 申請日: 2014-03-12
• 公開（公告）號: CN103882375A
• 公開（公告）日: 2014-06-25
• 發明（設計）人: 馬群;元裕太;賈敏慧
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種掩膜板，所述掩膜板包括相對的第一面和第二面，所述掩膜板上設置有開口結構，其特征在于，所述開口結構在所述第一面的圖形與所述開口結構在所述第二面的圖形部分交疊，交疊區域為通孔。

2.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括相互貼合的第一子掩膜板和第二子掩膜板，所述第一子掩膜板上與所述第二子掩膜板貼合的面相對的面成為所述第一面，所述第二子掩膜板上與所述第一子掩膜板貼合的面相對的面成為所述第二面，所述第一子掩膜板上設置有第一開口，所述第一開口在所述第一面的圖形即為所述開口結構在所述第一面的圖形，所述第二子掩膜板上設置有第二開口，所述第二開口在所述第二面的圖形即為所述開口結構在所述第二面的圖形。

3.根據權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板的尺寸相同，所述第一開口和所述第二開口的尺寸相同。

4.根據權利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開口和所述第二開口沿垂直于所述第一面的方向的截面為矩形。

5.根據權利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第一開口和所述第二開口沿垂直于所述第一面的方向的截面的寬度為a，所述第一開口和所述第二開口形成的交疊區域沿垂直于所述第一面的方向的截面的寬度為a/3。

6.根據權利要求2-5任一項所述的掩膜板，其特征在于，還包括邊框，所述邊框用以固定所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板。

7.根據權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述開口結構在所述第一面的圖形與所述開口結構在所述第二面的圖形的未交疊區域沿垂直于所述第一面的方向的截面為矩形、三角形、其他規則形狀或者不規則形狀。

8.一種掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：

在包括相對的第一面和第二面的掩膜板上形成開口結構，所述開口結構在所述第一面的圖形與所述開口結構在所述第二面的圖形部分交疊，交疊區域為通孔。

9.根據權利要求8所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述在包括相對的第一面和第二面的掩膜板上形成開口結構，包括：

對所述掩膜板的所述第一面進行刻蝕，以形成所述開口結構在所述第一面的圖形，刻蝕深度為d1，其中d1<d，d為所述掩膜板的厚度；

對所述掩膜板的所述第二面進行刻蝕，以形成所述開口結構在所述第二面的圖形，刻蝕深度為d2，其中d-d1≤d2<d；

或者，

采用干法刻蝕的方法在包括相對的所述第一面和所述第二面的所述掩膜板上形成所述開口結構。

10.根據權利要求8所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述在包括相對的第一面和第二面的掩膜板上形成開口結構，包括：

在第一子掩膜板上，形成第一開口；

在第二子掩膜板上，形成第二開口；

將所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板貼合；

其中，所述第一子掩膜板上與所述第二子掩膜板貼合的面相對的面成為所述第一面，所述第二子掩膜板上與所述第一子掩膜板貼合的面相對的面成為所述第二面，所述第一開口在所述第一面的圖形成為所述開口結構在所述第一面的圖形，所述第二開口在所述第二面的圖形成為所述開口結構在所述第二面的圖形。

11.根據權利要求10所述的掩膜板的制作方法，其特征在于，所述將所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板貼合，包括：

將所述第一子掩膜板和所述第二子掩膜板固定于同一邊框中，使二者貼合。