[發(fā)明專利]真空泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410083655.X
• 申請日: 2014-03-07
• 公開（公告）號: CN104052346B
• 公開（公告）日: 2018-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: H02P6/18
• 分類號: H02P6/18;H02P6/17;H02P21/18;H02P21/24;F04D19/04;F04D25/06
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

1.一種真空泵，其特征在于包括：

電動機(jī)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動泵轉(zhuǎn)子；

正弦波驅(qū)動指令生成部，生成正弦波驅(qū)動指令；

脈寬調(diào)制驅(qū)動指令生成部，基于所述正弦波驅(qū)動指令生成脈寬調(diào)制驅(qū)動指令；

反相器電路，具有基于所述脈寬調(diào)制驅(qū)動指令而被接通或斷開控制的多個開關(guān)元件，且通過所述多個開關(guān)元件的接通或斷開而將生成的驅(qū)動電流供給至所述電動機(jī)或從所述電動機(jī)回充；

推算部，檢測包含所述電動機(jī)的逆電壓信息的信號，推算所述電動機(jī)的磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度；以及

驅(qū)動電流控制部，在所述電動機(jī)起動時的加速動作或停止時的減速動作的從停止?fàn)顟B(tài)至規(guī)定旋轉(zhuǎn)速度為止的低速期間，重復(fù)進(jìn)行通過所述反相器電路而從電源供給至所述電動機(jī)或從所述電動機(jī)向所述電源回充的驅(qū)動電流的生成及阻斷；且

所述推算部在所述低速期間，檢測所述阻斷時的所述信號，而推算所述磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度，

旋轉(zhuǎn)速度小于所述規(guī)定旋轉(zhuǎn)速度，預(yù)先設(shè)定為規(guī)定的正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍且該正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍之間包含旋轉(zhuǎn)速度零，且

當(dāng)由所述推算部推算的旋轉(zhuǎn)速度在所述正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)時，所述推算部輸出一定的旋轉(zhuǎn)速度值代替所推算的旋轉(zhuǎn)速度，并且使用該旋轉(zhuǎn)速度值生成磁極電角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述驅(qū)動電流控制部在所述低速期間，重復(fù)進(jìn)行所述驅(qū)動電流的供給或回充、及阻斷，所述驅(qū)動電流的供給或回充是基于接通或斷開指令，所述接通或斷開指令是基于所述脈寬調(diào)制驅(qū)動指令，且所述驅(qū)動電流的阻斷是因?qū)⑺龆鄠€開關(guān)元件全部設(shè)為斷開狀態(tài)而導(dǎo)致的；且

所述推算部在所述低速期間，檢測所述阻斷時的電動機(jī)相電壓作為所述信號，從而推算所述磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述驅(qū)動電流控制部在所述低速期間，重復(fù)進(jìn)行所述驅(qū)動電流的供給或回充、及阻斷，所述驅(qū)動電流的供給或回充是基于接通或斷開指令，所述接通或斷開指令是基于所述脈寬調(diào)制驅(qū)動指令，且所述驅(qū)動電流的阻斷是因?qū)⑺鲭妱訖C(jī)的各相的電位設(shè)為相同電位的短路控制導(dǎo)致的；且

所述推算部在所述低速期間，檢測所述阻斷時的電動機(jī)相電流作為所述信號，從而推算所述磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的真空泵，其特征在于：

所述阻斷的期間長于脈寬調(diào)制周期，且

所述阻斷是以重復(fù)周期來重復(fù)進(jìn)行的，所述重復(fù)周期短于所述阻斷的期間中的旋轉(zhuǎn)周期。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空泵，其特征在于還包括：

徑向磁軸承及軸向磁軸承，磁懸浮支撐所述泵轉(zhuǎn)子；及

磁軸承控制部，控制所述徑向磁軸承及軸向磁軸承；且

旋轉(zhuǎn)速度小于所述規(guī)定旋轉(zhuǎn)速度，預(yù)先設(shè)定為規(guī)定的正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍且該正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍之間包含旋轉(zhuǎn)速度零，

當(dāng)電動機(jī)起動時的旋轉(zhuǎn)速度在所述正逆旋轉(zhuǎn)速度范圍內(nèi)時，利用所述反相器電路的電動機(jī)驅(qū)動停止，且

所述磁軸承控制部通過所述徑向磁軸承的吸引力而使所述泵轉(zhuǎn)子向與電動機(jī)正旋轉(zhuǎn)方向相反的方向公轉(zhuǎn)運(yùn)動，并且使其向電動機(jī)正旋轉(zhuǎn)方向自轉(zhuǎn)運(yùn)動。

6.一種真空泵，其特征在于包括：

電動機(jī)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動泵轉(zhuǎn)子；

正弦波驅(qū)動指令生成部，生成正弦波驅(qū)動指令；

脈寬調(diào)制驅(qū)動指令生成部，基于所述正弦波驅(qū)動指令生成脈寬調(diào)制驅(qū)動指令；

反相器電路，具有基于所述脈寬調(diào)制驅(qū)動指令而被接通或斷開控制的多個開關(guān)元件，且通過所述多個開關(guān)元件的接通或斷開而將生成的驅(qū)動電流供給至所述電動機(jī)或從所述電動機(jī)回充；

推算部，檢測包含所述電動機(jī)的逆電壓信息的信號，推算所述電動機(jī)的磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度；以及

驅(qū)動電流控制部，在所述電動機(jī)起動時的加速動作或停止時的減速動作的從停止?fàn)顟B(tài)至規(guī)定旋轉(zhuǎn)速度為止的低速期間，重復(fù)進(jìn)行通過所述反相器電路而從電源供給至所述電動機(jī)或從所述電動機(jī)向所述電源回充的驅(qū)動電流的生成及阻斷；且

所述推算部在所述低速期間，檢測所述阻斷時的所述信號，而推算所述磁極電角度及旋轉(zhuǎn)速度，

以多個階段切換所述低速期間中的重復(fù)周期及阻斷期間，使所述低速期間中的所述重復(fù)周期及所述阻斷期間隨著所述電動機(jī)的旋轉(zhuǎn)速度變大而變短。