[發(fā)明專利]一種硅電容式麥克風(fēng)及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410078845.2
• 申請日: 2014-03-05
• 公開（公告）號: CN104902410B
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 萬蔡辛;楊少軍;蔡鬧鬧
• 申請（專利權(quán)）人: 山東共達(dá)電聲股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R31/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨;朱世定

1.一種硅電容式麥克風(fēng)的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

在基板的表面采用淀積方法形成第一犧牲層；

根據(jù)工藝需要刻蝕所述第一犧牲層；

在所述第一犧牲層的表面淀積第二犧牲層；

在所述第二犧牲層的表面淀積振膜并選擇性地掩蔽和刻蝕所述振膜；

在所述振膜表面淀積第三犧牲層；

在所述第三犧牲層的表面淀積背極；

先選擇性地掩蔽和刻蝕所述背極，在所述背極上形成開孔或開槽，同時設(shè)定通過所述第三犧牲層形成的連接所述背極與所述振膜之間的中部連接和邊緣連接部分，再以所述背極為掩膜，刻蝕所述第三犧牲層，將所述背極上開孔或開槽部分下方的所述振膜暴露出來；

分別在所述背極和所述振膜上的暴露部分制作金屬化電極，并對所述振膜的電極和所述背極的電極分別作電氣引出并制作焊盤；

在所述基板背面選擇性地掩蔽和刻蝕，形成聲腔，所述聲腔從所述基板上對應(yīng)于設(shè)置所述振膜的中心區(qū)域貫穿整個所述基板；

采用濕法刻蝕所述第一犧牲層、第二犧牲層和所述第三犧牲層，有選擇性地去除所述基板與所述振膜的可動部分之間的所述第一犧牲層和所述第二犧牲層以及所述背極的可動部分與所述振膜的可動部分之間的第三犧牲層，釋放結(jié)構(gòu)。

2.一種硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，包括：外殼以及外殼內(nèi)部的基板、兩塊柔性薄膜、集成電路，其中，

所述基板上設(shè)有一聲腔，所述基板中部設(shè)有一個開孔；

兩塊所述柔性薄膜分別為振膜和柔性背極，其中，所述振膜被聲壓波激發(fā)時實(shí)現(xiàn)機(jī)械振動，所述振膜用于接收聲音信號并將其轉(zhuǎn)化為電信號；

所述柔性背極上設(shè)有開孔或開槽；

所述振膜和所述柔性背極上分別設(shè)置有用于引出電極的焊盤，所述柔性背極與所述振膜之間設(shè)有氣隙，所述柔性背極、所述氣隙與所述振膜構(gòu)成一個電容器；

所述集成電路封裝于所述硅電容式麥克風(fēng)內(nèi)部，所述集成電路用于處理所述電信號，

其中，所述柔性背極的可動部分與所述振膜的可動部分之間設(shè)有中部連接，所述中部連接物理的將所述振膜分割成近似獨(dú)立的多個部分，所述中部連接為機(jī)械連接而非電氣連接，所述振膜上設(shè)置有褶皺，所述柔性背極上設(shè)置有褶皺。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜的材料為導(dǎo)電多晶硅，通過淀積的工藝實(shí)現(xiàn)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述柔性背極的材料為導(dǎo)電多晶硅，通過淀積的工藝實(shí)現(xiàn)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜和所述柔性背極的剛度相等或不相等。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述柔性背極的剛度為所述振膜的剛度的1～30倍。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，按傳感器設(shè)計需要自由地將兩塊所述柔性薄膜分別定義為所述振膜和所述柔性背極，其相應(yīng)電氣引線也按傳感器設(shè)計需要自由定義。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述振膜和所述柔性背極的尺寸范圍均為：0.3mm×0.3mm～5mm×5mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述中部連接為弱約束或強(qiáng)約束。

10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述柔性背極和所述振膜的形狀為以下任意一種：圓形、四葉苜蓿形、跑道形、圓倒角方形、八邊形。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅電容式麥克風(fēng)，其特征在于，所述硅電容式麥克風(fēng)兼容通用硅電容麥克風(fēng)制備工藝。