[發(fā)明專利]一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410077477.X | 申請日： | 2014-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN104902409A | 公開（公告）日： | 2015-09-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 葉菁華 | 申請（專利權(quán)）人： | 鈺太芯微電子科技（上海）有限公司;鈺太科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 200120 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 麥克風 聲學 結(jié)構(gòu) | ||
1.一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括第一層結(jié)構(gòu)和位于所述第一層結(jié)構(gòu)上的第二層結(jié)構(gòu)，所述第一層結(jié)構(gòu)與所述第二層結(jié)構(gòu)構(gòu)成一麥克風聲學腔體，所述麥克風聲學腔體上設有一用于獲取聲音信號的第一聲學通孔，所述麥克風聲學腔體內(nèi)設有一聲學構(gòu)件，所述聲學構(gòu)件上設有至少兩個第二聲學通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述聲學構(gòu)件上設有多個所述第二聲學通孔，多個所述第二聲學通孔在所述聲學構(gòu)件上形成一陣列結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一聲學通孔位于所述麥克風聲學腔體的側(cè)面，由所述第一層結(jié)構(gòu)和所述第二層結(jié)構(gòu)組合而成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述聲學構(gòu)件采用硅基材料制成的聲學構(gòu)件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述聲學構(gòu)件位于所述第一聲學通孔處，貼裝于所述麥克風聲學腔體的內(nèi)部表面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一聲學通孔的至少一部分被所述聲學構(gòu)件覆蓋。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述聲學構(gòu)件與所述第一層結(jié)構(gòu)或所述第二層結(jié)構(gòu)電氣連接后接地。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一聲學通孔采用圓形或方形結(jié)構(gòu)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述麥克風聲學腔體內(nèi)設有一換能器及專用集成電路模塊，所述換能器的信號輸出端連接所述專用集成電路模塊，所述換能器及所述專用集成電路模塊設置于所述第一層結(jié)構(gòu)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9任意一項所述的一種MEMS麥克風聲學結(jié)構(gòu)，其特征在于，應用于便攜式移動終端中。
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