[發(fā)明專利]微機電裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410071664.7 | 申請日： | 2014-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN104030230A | 公開（公告）日： | 2014-09-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉茂誠;呂柏緯;周文介;翁淑怡;王竣傑 | 申請（專利權(quán)）人： | 先技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81B3/00 | 分類號： | B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁揮;常大軍 |
| 地址： | 中國臺灣臺北市*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微機 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種微機電裝置，其特征在于，其包括：
一梁柱體，具有一第一側(cè)與一第二側(cè)，該第一側(cè)與該第二側(cè)彼此相對；
一支撐體，用以支撐該梁柱體且相鄰但不相連于該梁柱體，該支撐體具有一第三側(cè)與相對于該第三側(cè)的一第四側(cè)，且該支撐體包括多個第一束縛層與多個第二束縛層，該些第一束縛層與該些第二束縛層彼此交錯相疊，其中該第二側(cè)與該第三側(cè)彼此相鄰；以及
一接合物，位于該第二側(cè)與該第三側(cè)之間、該第一側(cè)、及該第四側(cè)，該接合物用以接合并絕緣該梁柱體與該支撐體。
2.如權(quán)利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該梁柱體包括多個金屬層與多個氧化層，該些金屬層與該些氧化層彼此交錯相疊。
3.如權(quán)利要求2所述的微機電裝置，其特征在于，該梁柱體為指叉狀電極或是彈簧懸臂。
4.如權(quán)利要求1所述的微機電裝置，其其特征在于，該些第一束縛層為金屬，該些第二束縛層為鎢。
5.如權(quán)利要求1所述的微機電裝置，其特征在于，該接合物為氧化物。
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