[發明專利]一種鈦鋁鎂合金靶材及其制備方法

有效

• 申請號: 201410069676.6
• 申請日: 2014-02-27
• 公開（公告）號: CN104878244B
• 公開（公告）日: 2017-11-10
• 發明（設計）人: 呂宏;謝元鋒;李屹民;夏揚
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: C22C14/00
• 分類號: C22C14/00;C22C1/04;B22F3/14;C23C14/14
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司11100
• 代理人: 劉徐紅

1.一種鈦鋁鎂合金靶材，其特征在于：它的質量百分比組成為：鈦73％～97％，鋁0.1％～1％，鎂2％～26.9％。

2.一種鈦鋁鎂合金靶材的制備方法，包括以下步驟：

(1)按照鈦鋁鎂合金靶材的質量百分比組成為：鈦73％～97％，鋁0.1％～20％，鎂1％～26.9％，稱取-200目的純度大于99％的鈦粉或Ti₃Al合金粉、及鋁粉和鎂粉，在混料機中混合均勻；

(2)將鈦粉或Ti₃Al合金粉、及鋁粉和鎂粉的混合粉末裝在燒結用的模具中，將模具放入真空熱壓爐中，抽真空，使真空度小于1Pa，然后升溫，溫度從室溫升溫到400℃時，升溫速率保持在3～10℃/分鐘，熱壓爐壓頭的壓力保持在5～10MPa；然后繼續升溫到500～640℃，同時熱壓爐壓頭壓力升高到15～20MPa，保溫保壓30～120分鐘，然后開始降溫，卸壓，自然冷卻到室溫；

(3)去除真空，脫模，獲得燒結成型的鈦鋁鎂三元合金靶材坯料，然后通過機加工，得到鈦鋁鎂合金靶材。

3.如權利要求2所述的鈦鋁鎂合金靶材的制備方法，其特征在于：粉料混合過程中，在混料筒中充入氫氣或氬氣。

4.如權利要求3所述的鈦鋁鎂合金靶材的制備方法，其特征在于：粉料的混合時間為12～48小時。