[發明專利]一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置

有效

• 申請號: 201410066534.4
• 申請日: 2014-02-26
• 公開（公告）號: CN103794971A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 梁迎春;張鵬;盧禮華;孫付仲
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: H01S3/042
• 分類號: H01S3/042
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，它包括加熱器（22）；其特征在于：所述晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置還包括真空殼體（1）、銅環（5）、保護外殼（11）、固定支架（20）、溫度控制系統、兩個銅套（24）、兩個內擋環（4）、兩個密封圈一（17）、兩個密封圈二（14）、兩個內固定端蓋一（2）、兩個內固定端蓋二（3）、兩個外固定端蓋一（16）、兩個外固定端蓋二（15）、兩個融石英片（18）及兩個密封玻璃片（19）；所述溫度控制系統包括測溫熱電偶（21）和溫控儀（31）；每個內擋環（4）的一個端面為直端面（27），與該直端面（27）相對的另一個端面為斜端面（28），所述銅環（5）的外圓周面固定有加熱器（22），兩個內擋環（4）的直端面（27）相對設置并套裝在銅環（5）內，兩個內擋環（4）均與銅環（5）徑向可拆卸連接，每個銅套（24）的內腔由相通的一個大直徑孔和一個小直徑孔構成，每個銅套（24）外壁上位于大直徑孔一端固定有兩個連接柄（35），所述兩個連接柄（35）相對于銅套（24）的中心線對稱設置，兩個銅套（24）的兩個大直徑孔一端相對設置，晶體（8）設置在兩個銅套（24）的兩個大直徑孔內，兩個銅套（24）的連接柄（35）一一對應并可拆卸連接，兩個銅套（24）設置在兩個內擋環（4）之間，且兩個銅套（24）的連接柄（35）夾緊固定在兩個內擋環（4）之間，每個內擋環（4）的斜端面（28）上設置有一個密封玻璃片（19），兩個密封玻璃片（19）的外側面各設置有一個內固定端蓋一（2），內固定端蓋一（2）的內端面為斜內端面，內固定端蓋一（2）的斜內端面與內擋環（40）的斜端面（28）傾斜度相一致，每個內固定端蓋一（2）與銅環（5）的相鄰端連接，每個密封玻璃片（19）通過內固定端蓋一（2）的斜內端面密封固定在內擋環（4）的斜端面（28）上，兩個密封玻璃片（19）平行設置，加熱器（22）的外側套裝一個保護外殼（11），保護外殼（11）的兩端各與一個內固定端蓋二（3）連接，保護外殼（11）的底部通過固定支架（20）支撐固定，固定支架（20）與真空殼體（1）內壁的底部連接，真空殼體（1）的兩端與相對應的外固定端蓋二（15）連接，真空殼體（1）的兩端與所對應的外固定端蓋二（15）之間通過一個密封圈二（14）密封，真空殼體（1）側壁的上部設有真空接口（7），兩個內固定端蓋一（2）和兩個內固定端蓋二（3）均設有中心通孔，兩個外固定端蓋二（15）的內側面的中部各設置有一個外固定端蓋一（16），外固定端蓋一（16）與外固定端蓋二（15）連接，外固定端蓋一（16）的中部設有階梯型窗孔，每個外固定端蓋一（16）的階梯型窗孔通過一個融石英片（18）密封，外固定端蓋二（15）的中部設有窺視窗孔（30），融石英片（18）與外固定端蓋二（15）之間通過密封圈一（17）密封；測溫熱電偶（21）穿過真空殼體（1）、保護外殼（11）及加熱器（22）固定在銅環（5）的外側壁上，測溫熱電偶（21）的顯示儀表（29）安裝在溫控儀（31）上，測溫熱電偶（21）通過導線與測溫熱電偶（21）的顯示儀表（29）相連，所述顯示儀表（29）輸出的溫度數據給溫控儀（31），溫控儀（31）通過導線與加熱器（22）相連。

2.根據權利要求1所述一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，其特征在于：所述兩個銅套（24）的外側壁各開設有一個鍵槽（23），兩個鍵槽（23）設置在同一直線上，銅環（5）的內壁上沿長度方向開設有通槽（26），通槽（26）與兩個鍵槽（23）相對應，每個相對應的鍵槽（23）和通槽（26）內裝有一個鍵（6），兩個銅套（24）各通過一個鍵（6）與銅環（5）徑向可拆卸連接，且兩個銅套（24）的外側壁與銅環（5）的內側壁之間緊密接觸。

3.根據權利要求2所述一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，其特征在于：所述銅環（5）的外側壁上開設有螺紋孔（25），測溫熱電偶（21）與銅環（5）的螺紋孔（25）連接。

4.根據權利要求2所述一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，其特征在于：所述加熱器（22）為電阻絲加熱器。

5.根據權利要求2所述一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，其特征在于：所述晶體（8）的光軸、兩個融石英片（18）及兩個銅套（24）的中心線重合。

6.根據權利要求1所述一種晶體口徑可調節的高精度溫度控制裝置，其特征在于：所述每個內擋環（4）的斜端面（28）與直端面（27）之間的夾角為α，α=5°。