[發明專利]一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置

無效

• 申請號: 201410059580.1
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN103855130A
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 蔡振飛;陳正偉
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L23/528
• 分類號: H01L23/528;H01L21/768
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置。

背景技術

隨著顯示技術的飛速發展，TFT-LCD（Thin?Film?Transistor?Liquid?Crystal?Display，薄膜晶體管液晶顯示器）作為一種平板顯示裝置，因其具有體積小、功耗低、無輻射以及制作成本相對較低等特點，正逐漸成為主流的顯示產品。

現有技術中的TFT-LCD通常由矩陣形式排列的多個像素結構組成，其典型的結構如圖1所示，包括橫縱交叉的柵線10以及數據線11劃分而成的多個像素單元12，在柵線10與數據線11的交叉位置處設置有薄膜晶體管（TFT）。其中，為了對陣列基板上每一條數據線11的通斷狀態進行檢測，會將兩條相互間的隔數據線11分別連接第一檢測線20和第二檢測線21。其中第一檢測線20采用構成柵極10的柵極金屬制成；而第二檢測線21采用構成數據線11的數據金屬制成。

現有技術中，如圖2所示（沿圖1中虛線A-A’得到的剖視圖），需要制作連接過孔30將數據線11與第一檢測線20相連接。然而在制作連接過孔30的過程中，需要采用干法刻蝕工藝，將柵線10表面的對應連接過孔30位置處的柵極絕緣層13、刻蝕保護層14以及鈍化層15刻蝕掉。由于上述需要被刻蝕的膜層的厚度較大，因此會加大刻蝕的難度，并且由于構成各個膜層的材質有所不同，因此在同時刻蝕柵極絕緣層13、刻蝕保護層14以及鈍化層15的過程中，容易在形成的連接過孔30的孔壁上出現尖角301。這樣一來，當數據線11通過連接過孔30與柵線10進行連接時；連接過孔30的孔壁的尖角301造成數據線11斷裂，從而因無法完成柵線10和數據線11的連接，而導致檢測過程失敗，影響產品的質量和性能。

發明內容

本發明的實施例提供一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置，在減小過孔刻蝕厚度的同時，將數據線與由柵極金屬薄膜制成的第一檢測線相連接。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例的一方面，提供一種陣列基板，包括橫縱交叉的柵線和數據線，所述數據線連接第一檢測線；所述第一檢測線與所述柵線同層設置；還包括：

連接部，所述連接部的一端與所述第一檢測線電連接；另一端與所述數據線電連接，以使得所述數據線通過所述連接部接收所述第一檢測線輸入的檢測信號。

本發明實施例的另一方面，提供一種顯示裝置，包括如上所述的任意一種陣列基板。

本發明實施例的又一方面，提供一種陣列基板的制作方法，包括制作橫縱交叉的柵線和數據線的方法、制作與所述數據線相連接的第一檢測線的方法；其中，所述第一檢測線與所述柵線同層設置；所述方法還包括：

通過構圖工藝在透明基板表面形成連接部的圖案；

將所述連接部的一端與所述第一檢測線電連接；另一端與所述數據線電連接，以使得所述數據線通過所述連接部接收所述第一檢測線輸入的檢測信號。

本發明實施例提供了一種陣列基板及其制作方法、顯示裝置，該陣列基板包括橫縱交叉的柵線和數據線。數據線連接第一檢測線，其中該第一檢測線與上述柵線同層設置，該陣列基板還包括連接部，所述連接部的一端與第一檢測線電連接；另一端與數據線電連接，以使得數據線通過連接部接收第一檢測線輸入的檢測信號。這樣一來，通過連接部可以將由柵極金屬制成的第一檢測線與數據線相連接，避免了將第一檢測線與數據線直接連接時，由于制作過孔難度大或者刻蝕過孔的厚度過厚而導致數據線斷裂的現象，從而提升了產品的質量。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為現有技術提供的一種陣列基板的結構示意圖；

圖2為現有技術提供的一種陣列基板上過孔的結構示意圖；

圖3為本發明實施例提供的一種陣列基板的結構示意圖；

圖4為本發明實施例提供的另一種陣列基板的結構示意圖；

圖5為本發明實施例提供的又一種陣列基板的結構示意圖；

圖6為本發明實施例提供的一種陣列基板的制作方法流程圖；

圖7為本發明實施例提供的另一種陣列基板的制作方法流程圖；

圖8為本發明實施例提供的又一種陣列基板的制作方法流程圖。

具體實施方式