[發明專利]電路布圖檢查裝置

有效

• 申請號: 201410056938.5
• 申請日: 2014-01-08
• 公開（公告）號: CN103913667A
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 羽森寬
• 申請（專利權）人: OHT株式會社
• 主分類號: G01R31/02
• 分類號: G01R31/02
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 胡金瓏

技術領域

本發明涉及能夠以非接觸的方式檢查形成于基板上的導電體布圖的缺陷的電路布圖檢查裝置。

背景技術

近年，在顯示器中，采用液晶的液晶顯示器或采用等離子體的等離子體顯示器成為主流。在這些顯示器的制造步驟中，對成為形成于玻璃基板上的電路布線的導電體布圖，進行有無斷線和短路的缺陷檢查。

作為導電體布圖的檢查方法，比如在JP特開2004-191381號公報中，將至少2個檢查探頭接近導體布圖，在以非接觸的方式與導電體布圖進行電容耦合的狀態下移動，并且從一個檢查探頭施加交流檢查信號，通過另—檢查探頭檢測在導體布圖中傳遞的交流檢查信號。通過檢測信號的波形的變化，進行有無導電體布圖的斷線和短路的檢查。

用于上述檢查方法的裝置采用以非接觸的方式與導體布圖進行電容耦合的檢查電極。該檢查電極與導電體布圖對置，施加具有與正弦波相同的波形的交流的檢查信號。在成為檢查對象的顯示器中，與以前相比較，為了實現高畫質圖像的顯示，強烈地要求顯示面板的像素的細微化，成為檢查對象的導電體布圖的細線化和窄間距(pitch)化正在發展。

在采用了過去的接觸型的傳感器端子的情況下，通過對前端進行尖銳化，可應對布圖的細線化，但是在將交流信號設為檢查信號的非接觸傳感器中，由于進行以空氣為絕緣體的電容耦合、即電場的電位(電壓)的施加，故供電電極所形成的電場分布的形狀對檢測信號造成影響。

在導電體布圖的布圖寬度變窄時，為了利用電容耦合而獲得充分的檢測信號，檢查信號的電壓的更大的變化成為必須的條件。通常，具有下述的傾向：在因電壓變化模擬地變化的交流言號而產生的電場的分布特性中，峰值越高，整體上越上升，波形的底側越寬，峰值周圍的電位也越高。

在多個導電體布圖被窄間距化，布圖之間的距離與布圖寬度一起變窄的情況下，如果電場分布從供電電極到達在鄰接或接近于成為檢查對象的導電體布圖的非檢查對象的導電體布圖，則還對這些導電體布圖供電檢查信號。

即使進行檢查信號的檢測的傳感器電極形成為與導電體布圖相同的寬度，仍從不對置而位于傾斜方向的非檢查對象的導電體布圖向傳感器電極輸出信號。由此，包含在從檢查對象的導電體布圖檢測到的信號中，對檢查的梢度造成影響。于是，如果相對于被細線化的導電體布圖，提高所獲得的傳感器信號值，增加施加于供電電極上的檢查信號的信號值，則對檢查精度的影響也變大。

發明內容

本發明提供一種電路布圖檢查裝置，其中，通過以檢查電極為中心而于兩側設置多個消弧電極的供電部，同時施力目對于交流的檢查信號的相位而發生相移的消弧信號，切削檢查信號的電場分布的底側部分，形成進行了尖銳化的電場分布，作為檢查信號而供電到檢查對象的導電體布圖。

本發明的實施方式的電路布圖檢查裝置包括：供電部，在該供電部中，于同一基板上形成檢查電極和多個消弧電極，該檢查電極以多個導電體布圖呈列狀排列的基板為檢查對象，在上方對置而電容耦合于1個上述導電體布圖，施加預定的交流的檢查信號，該多個消弧電極在與上述排列的方向交叉的方向，于上述檢查電極的兩側，以同一間距間隔開而連續設置；檢查信號供給部，將交流的檢查信號供給到上述檢查電極；消弧信號供給部，同時供給相對于上述檢查信號而以相同相位和相反相位而移相的多個消弧信號；傳感器部，形成有在上述檢查電極對置的導電體布圖的上方對置設置并電容耦合，從而檢測從上述供電部施加的上述檢查信號的傳感器電極；移動部，—體地保持上述供電部和上述傳感器部，以一定距離與上述導電體布圖的上方間隔開，向與該導電體布圖的排列方向交叉的方向移動；以及缺陷判斷部，將下述第1判斷和第2判斷組合，或采用它們中的任意一者而進行不良判斷，在該第1判斷中，將通過上述傳感器部而按照時間序列獲得的檢測信號與預定的判斷基準值進行比較，從而判斷缺陷的有無，在該第2判斷中，在相對于按照上述時間序列而獲得的檢測信號，檢測信號值的時間序列的變化于設定期間內超過預定的范圍時，針對送出超過該范圍的檢測信號的導電體布圖而進行不良判斷，通過下述方式供電上述檢查信號：從上述移動部的移動中的上述供電部，依次對導電體布圖同時施加上述檢查信號和上述多個消弧信號，形成相對于上述檢查信號的電場分布而通過上述消弧信號反向地形成的電場分布，切削上述檢查信號的電場分布的底側部分，將進行了尖銳化的合成電場分布的峰值部分置于檢查對象的導電體布圖上。

附圖說明

圖1為表示本發明的實施方式的電路布圖檢查裝置的構思結構的圖；

圖2為表示供電部和與供電部有關的結構的圖；