[發(fā)明專利]低溫泵及低溫泵安裝結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410046848.8
• 申請日: 2014-02-10
• 公開（公告）號: CN103994049A
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設計）人: 及川健
• 申請（專利權）人: 住友重機械工業(yè)株式會社
• 主分類號: F04B37/08
• 分類號: F04B37/08;F04B39/14
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張宏光;郝傳鑫

1.一種低溫泵，其用于對真空腔室進行排氣，其特征在于，具備：

放射屏蔽件，具備屏蔽件開口端，且該屏蔽件開口端包圍用于接收氣體的屏蔽件開口；及

蓋部件，用于將所述屏蔽件開口連接于所述真空腔室且具有比所述屏蔽件開口窄的連接開口，

所述蓋部件具備第1安裝凸緣，且該第1安裝凸緣在真空腔室側包圍所述連接開口且用于將所述低溫泵安裝于真空腔室側的對象凸緣。

2.根據權利要求1所述的低溫泵，其特征在于，

所述低溫泵還具備容納所述放射屏蔽件的低溫泵容器，

所述低溫泵容器具備包圍吸氣口且比所述第1安裝凸緣大型的吸氣口凸緣，

所述蓋部件還具備第2安裝凸緣，且該第2安裝凸緣在低溫泵側包圍所述連接開口且用于將所述蓋部件安裝于所述吸氣口凸緣。

3.根據權利要求2所述的低溫泵，其特征在于，

所述吸氣口凸緣具備劃定所述吸氣口的內周緣，所述內周緣在與所述屏蔽件開口的中心線垂直的方向上位于所述屏蔽件開口端的外側。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的低溫泵，其特征在于，具備：

低溫低溫板，配置于所述放射屏蔽件內；及

制冷機，所述制冷機具備：第1冷卻臺，用于冷卻所述放射屏蔽件；第2冷卻臺，用于冷卻所述低溫低溫板；以及第2缸體，連結所述第1冷卻臺和所述第2冷卻臺，且所述第2缸體在所述放射屏蔽件內沿與所述屏蔽件開口的中心線交叉的方向配設，

所述第1安裝凸緣以遠離所述第2缸體的高溫側的方式設置于偏離所述中心線的位置。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的低溫泵，其特征在于，

所述蓋部件在所述連接開口具備限制氣體從所述真空腔室流入所述屏蔽件開口的節(jié)流部。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的低溫泵，其特征在于，

所述蓋部件具有用于將所述屏蔽件開口連接于所述低溫泵的外部的多個連接端口。

7.一種低溫泵的安裝結構，其用于將低溫泵安裝于真空腔室側的對象凸緣，且所述低溫泵用于對真空腔室進行排氣，

所述低溫泵安裝結構的特征在于，

所述低溫泵具備包圍吸氣口的吸氣口凸緣，

所述安裝結構具備蓋部件，且該蓋部件具有用于將所述吸氣口連接于所述真空腔室的連接開口，

所述蓋部件具備：第1安裝凸緣，在真空腔室側包圍所述連接開口且用于將所述蓋部件安裝于所述對象凸緣；及第2安裝凸緣，在低溫泵側包圍所述連接開口且用于將所述蓋部件安裝于所述吸氣口凸緣。