[發明專利]放射線檢測器以及放射線檢測器的制造方法

有效

• 申請號: 201410045846.7
• 申請日: 2014-02-08
• 公開（公告）號: CN103984000B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 戶波寬道
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種放射線檢測器，具備：

閃爍體模塊，其檢測入射的放射線而進行發光；

光導件，其與上述閃爍體模塊光學性地結合，傳送從上述閃爍體模塊發出的光；

固體光檢測器，其二維矩陣狀地排列有多個受光元件，并且與上述光導件光學性地結合，其中，該多個受光元件使從上述光導件傳送的光轉換為電信號；以及

反射單元，其設置于上述光導件與上述固體光檢測器之間，在與上述受光元件的受光部相對的部位具有開口部，并且反射光，

該放射線檢測器還具備：

第一粘接層，其使上述反射單元和上述固體光檢測器粘接；

第一填充層，其填充上述受光元件之間的間隙部；

第二粘接層，其使上述光導件和上述反射單元粘接；以及

第二填充層，其填充設置于上述反射單元的開口部。

2.根據權利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于，還具備：

粘接層覆蓋部，其由用于光學性結合的粘接劑構成，貼合覆蓋上述第一粘接層的側周部和上述第二粘接層的側周部；以及

反射材料，其貼合覆蓋上述閃爍體模塊、上述光導件、上述固體光檢測器以及上述粘接層覆蓋部，并且反射光。

3.根據權利要求1所述的放射線檢測器，其特征在于，

還具備反射材料，該反射材料貼合覆蓋上述閃爍體模塊的側周部和上表面部以及上述光導件的側周部，并且反射光。

4.根據權利要求3所述的放射線檢測器，其特征在于，

還具備粘接層覆蓋部，該粘接層覆蓋部由用于光學性結合的粘接劑構成，貼合覆蓋上述第一粘接層、上述第二粘接層以及上述反射材料各自的側周部。

5.根據權利要求3或4所述的放射線檢測器，其特征在于，

還具備粘接強化材料，該粘接強化材料貼合覆蓋上述反射材料的側周部，與用于光學性結合的粘接劑粘接。

6.根據權利要求3或4所述的放射線檢測器，其特征在于，

上述反射材料是與用于光學性結合的粘接劑粘接的材料。

7.根據權利要求1至4中的任一項所述的放射線檢測器，其特征在于，

上述受光元件是硅光電倍增器元件或雪崩光電二極管元件。

8.一種放射線檢測器的制造方法，包括以下工序：

間隙部填充工序，利用用于光學性結合的粘接劑填充設置于構成固體光檢測器的受光元件之間的間隙部；

粘接劑除去工序，在上述間隙部填充工序之后，除去殘存于固體光檢測器的表面上的粘接劑；

反射掩模設置工序，在上述粘接劑除去工序之后，在固體光檢測器的表面上設置反射掩模，該反射掩模在與受光元件的受光部相對的部位設置有開口部；

開口部填充工序，在上述反射掩模設置工序之后，利用用于光學性結合的粘接劑填充設置于反射掩模的開口部，并且使固體光檢測器和反射掩模結合；

光導件結合工序，在上述開口部填充工序之后，使光導件和反射掩模結合；以及

閃爍體結合工序，在上述光導件結合工序之后，使閃爍體模塊與光導件光學性地結合。

9.根據權利要求8所述的放射線檢測器的制造方法，其特征在于，

在上述閃爍體結合工序之后還具備反射材料覆蓋工序，在該反射材料覆蓋工序中，在光導件、反射掩模以及固體光檢測器各自的側周部殘留溢出的粘接劑的至少一部分，利用反射光的反射材料覆蓋閃爍體模塊、光導件、固體光檢測器以及殘留的粘接劑各自的側周部。

10.根據權利要求8所述的放射線檢測器的制造方法，其特征在于，

包括以下工序來代替上述光導件結合工序以及上述閃爍體結合工序：

復合體形成工序，使閃爍體模塊和光導件光學性地結合，用反射光的反射材料覆蓋閃爍體模塊的側周部和上表面部以及光導件的側周部，來制作閃爍體復合體；以及

復合體結合工序，在上述開口部填充工序和上述復合體形成工序之后，將閃爍體復合體結合至反射掩模。

11.根據權利要求10所述的放射線檢測器的制造方法，其特征在于，

在閃爍體復合體、反射掩模以及固體光檢測器各自的側周部殘留溢出的粘接劑的至少一部分。

12.根據權利要求10或11所述的放射線檢測器的制造方法，其特征在于，

在閃爍體復合體的側周部還具備與用于光學性結合的粘接劑粘接的材料。