[發明專利]柔性嵌入式光互連結構及其制作方法

有效

• 申請號: 201410041869.0
• 申請日: 2014-01-28
• 公開（公告）號: CN103779323B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 李寶霞;劉豐滿;薛海韻
• 申請（專利權）人: 華進半導體封裝先導技術研發中心有限公司
• 主分類號: H01L23/528
• 分類號: H01L23/528;H01L21/768
• 代理公司: 上海海頌知識產權代理事務所(普通合伙)31258
• 代理人: 任益

1.柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：包括由包覆材料（3）以及嵌裝在包覆材料（3）中的光波導（2）構成的光波導板材（1），光波導板材（1）上開設有開口朝下的帶光反射界面（5）的激光燒蝕槽（4），光波導板材（1）上激光燒蝕槽（4）的兩側垂直設置有貫穿光波導板材（1）的通孔（6）；所述光波導板材（1）的上下表面上自內向外依次設置有帶圖形的化學鍍銅層（7）、金屬電鍍層（8）以及金屬保護層（9），光波導板材（1）上表面的金屬保護層（9）上方安裝有光電芯片（10）和電芯片（11），光電芯片（10）和電芯片（11）上覆蓋有密封膠體（12）；所述光波導板材（1）下表面的金屬保護層（9）下方設置有對外電接口；

一個完整的雙向柔性嵌入式光互連結構包括兩個光收發部分（14）和位于兩光收發部分（14）中間的光傳輸部分（15），光傳輸部分除了其所在部分的光波導（2）傳輸光信號還實現兩個光收發部分（14）間的光連接，光傳輸部分的光波導板材（1）上下表面的金屬布線實現兩個光收發部分（14）間的電連接；所述光傳輸部分（15）為包含光波導的光波導板材（1），光波導板材上下表面的金屬布線包括化學鍍銅層、金屬電鍍層和金屬保護層；所述光收發部分（14）包括設置在光波導板材（1）兩端部的光電芯片（10）、電芯片（11）以及設置在光波導板材（1）兩端部的帶光反射界面（5）的激光燒蝕槽（4）。

2.根據權利要求1所述的柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：所述光波導板材（1）下表面的金屬保護層（9）下方設置的對外電接口為焊球（13）。

3.根據權利要求1所述的柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：所述光波導板材（1）下表面的金屬保護層（9）下方設置的對外電接口為金手指。

4.根據權利要求1所述的柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：所述激光燒蝕槽（4）的形狀為三角形或者梯形，激光燒蝕槽（4）的內側面形成光反射界面（5）。

5.根據權利要求4所述的柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：所述光反射界面（5）與光波導板材（1）的上下表面的夾角為40°到50°。

6.根據權利要求5所述的柔性嵌入式光互連結構，其特征在于：所述光反射界面（5）與光波導板材（1）的上下表面的夾角為45°。