[發明專利]半導體激光陣列光學特性檢測裝置

有效

• 申請號: 201410028497.8
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN103792070A
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 曹銀花;郭志婕;王智勇;劉友強;李景
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 北京匯信合知識產權代理有限公司 11335
• 代理人: 王秀麗

技術領域

本發明涉及一種激光技術領域，特別是涉及一種半導體激光陣列光學特性檢測裝置。?

背景技術

半導體激光器具有體積小，重量輕，壽命長，電光轉換效率高和可靠性高等優點，被廣泛應用于工業、醫療和材料處理等領域，已經成為了光電行業中最有發展前途的領域。由于實際應用中對激光器的功率要求不斷提高，從封裝角度講，要獲取大功率輸出，目前大多是通過在垂直方向激光陣列疊多個巴條來實現半導體激光器功率幾個數量級的提高，但同時會降低光束質量，并對微光學系統裝置和激光陣列疊技術有很高的要求。對垂直陣列光束準直效果和能量耦合效率的要求越來越高，陣列中巴條間準直光束的指向精度直接影響激光器光斑尺寸、光強密度均勻性及整體輸出光束的傳輸方向，因此激光陣列的光學特性參數如Smile值，快軸發散角以及巴條間快軸準直光束指向精度等指標已成為激光陣列封裝工作者及激光器設計者的共同關注點，對研制高水平、高功率、高可靠性DL垂直陣列具有重要意義。目前Smile值的測量集中在對單獨一個巴條在封裝前的測試，快軸發散角的測量主要是針對激光陣列，不能同時精確地測量激光陣列以及每一個巴條的光學傳輸特性。?

對于高功率半導體激光器的光學特性參數進行測試和表征是不僅有助于理解激光陣列光學特性的關鍵，也是判斷激光陣列作為光源好壞的重要依據。因此，研究一個關鍵的光學特性參數檢測裝置具有非常重要的現實意義。?

發明內容

針對上述問題中存在的不足之處，本發明提供一種半導體激光陣列光學特性檢測裝置，使其對高功率半導體激光陣列中巴條的光學特性參數進行高精度和自動化檢測，對高功率半導體激光陣列的質量進行了有效地控制，降低了成本。?

為了解決上述問題，本發明提供一種半導體激光陣列光學特性檢測裝置，包括半導體激光陣列、檢測裝置、電控平移臺與計算機，其中，所述檢測裝置包括吸收模塊A、吸收模塊B、反射棱鏡A、反射棱鏡B與平面反射鏡，所述吸收模塊A和所述吸收模塊B分別設置在所述檢測裝置的上部與下部，用以吸收剩余巴條的反射光以及所述平面反射鏡的反射光；所述反射棱鏡A的底部固定在所述吸收模塊A的下方且其尖端向下傾斜，所述反射棱鏡B的底部固定在所述吸收模塊B的上方且其尖端向上傾斜，所述反射棱鏡A的尖端和所述反射棱鏡B的尖端相靠近形成一間隙，用以選擇被測巴條；所述平面反射鏡固定在所述檢測裝置中所述間隙的中軸線處并且位于所述反射棱鏡A和所述反射棱鏡B后方，用以將被測巴條發射的光進行一級衰減。?

優選的，半導體激光陣列包括多個帶有快慢軸準直鏡的被測巴條。?

優選的，檢測裝置還包括柱面鏡A、柱面鏡B、衰減片與CCD相機，在所述間隙的中軸線上設置有微型導軌，所述微型導軌位于所述平面反射鏡后方，所述柱面鏡A、所述柱面鏡B、所述CCD相機分別固定在所述微型導軌的滑塊上，所述衰減片固定在所述微型導軌上并且位于所述CCD相機14之前；所述柱面鏡對所述平面反射鏡的透射光進行壓縮，以符合所述CCD相機的測量范圍，經過所述衰減片進行二次衰減，所述CCD相機對光斑信息進行記錄。?

優選的，所述檢測裝置固定在所述電控平移臺上，由計算機控制上下移動，實現對不同巴條的測量。?

優選的，所述平面反射鏡上鍍有高反膜層，所述吸收模塊A和所述吸收模塊B均為帶有水冷系統的吸收模塊。?

優選的，所述計算機連接所述CCD相機進行圖像實時采集并對光斑進?行分析，并控制所述電控平移臺的移動。?

與現有技術相比，本發明具有以下優點：?

本發明針對目前高功率半導體激光陣列中檢測激光陣列和每個巴條的光學特性參數技術不足的現狀，提出一種基于單巴條檢測原理的激光陣列光學特性參數的檢測裝置，克服了現有技術的不足，其結構設計合理，精度較高且進行了更進一步的優化設計，有效地提高了獲知激光陣列參數的精度和效率，給出了檢測激光陣列參數的標準，具有一定的創新性和實用性。?

附圖說明

圖1是本發明的實施例結構示意圖。?

主要元件符號說明：?

1-半導體激光陣列????????????2-檢測裝置????????????????3-電控平移臺?

4-計算機????????????????????5-被測巴條????????????????6-吸收模塊B?

7-吸收模塊A?????????????????8-反射棱鏡A???????????????9-反射棱鏡B?