[發(fā)明專利]一種六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410026487.0
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN103776774A
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張立強(qiáng);張玉鈞;蔡毅敏
• 申請（專利權(quán)）人: 南京順泰科技有限公司
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25;G01N1/22
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務(wù)所 32237
• 代理人: 朱慶華

1.一種六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置，其特征在于，包括依次連通的取氣接頭（1）、流量調(diào)節(jié)裝置（3）、光譜檢測池（9）和廢氣收集裝置（13）；

所述取氣接頭（1）與流量調(diào)節(jié)裝置（3）之間設(shè)有氣體過濾器（2）；

所述流量調(diào)節(jié)裝置（3）包括依次連接的流量調(diào)節(jié)閥（5）、流量計（6）和壓力計（8），其中，所述流量調(diào)節(jié)閥（5）與氣體過濾器（2）之間設(shè)有減壓閥（4），所述流量計（6）通過第一閥門（7）與壓力計（8）連接，且所述壓力計（8）與所述光譜檢測池（9）連通；

所述光譜檢測池（9）上設(shè)有濕度檢測裝置（10），且所述光譜檢測池（9）依次通過第二閥門（11）和第一真空泵（12）與所述廢氣收集裝置（13）相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置，其特征在于，所述光譜檢測池（9）與第二閥門（11）之間設(shè)有緩沖罐。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置，其特征在于，所述光譜檢測池（9）為紅外紫外復(fù)合光譜檢測池。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置，其特征在于，所述廢氣收集裝置（13）通過第二真空泵連接有處理裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的六氟化硫氣體取樣光譜檢測裝置，其特征在于，所述濕度檢測裝置（10）為濕度傳感器。