[發明專利]一種正入射浸沒式非制冷薄膜型紅外探測器有效

申請號：	201410020865.4	申請日：	2014-01-17
公開（公告）號：	CN103855237B	公開（公告）日：	2017-01-25
發明（設計）人：	黃志明;歐陽程;周煒;吳敬;高艷卿;黃敬國;褚君浩	申請（專利權）人：	中國科學院上海技術物理研究所
主分類號：	H01L31/09	分類號：	H01L31/09;H01L31/0232;H01L31/18
代理公司：	上海新天專利代理有限公司31213	代理人：	郭英
地址：	200083 ***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種入射浸沒制冷薄膜紅外探測器
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【權利要求書】：

1.一種正入射浸沒式非制冷薄膜型紅外探測器，其特征在于：在所述的紅外敏感元薄膜表面有一能會聚紅外信號的鍺單晶半球透鏡（4），探測器的敏感元（6）位于鍺透鏡聚光中心焦點位置；所述的鍺單晶半球透鏡（4）為折射率n=4、電阻率大于30Ωcm、表面鍍制有抗反射層的鍺半球晶體，在其底面鍍有作為介質層與紅外探測器進行粘接的硒砷化合物薄膜。

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