[發明專利]含微量稀土元素的鎳釩合金磁控濺射旋轉靶材及制備方法

有效

• 申請號: 201410018872.0
• 申請日: 2014-01-16
• 公開（公告）號: CN103710577A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 王小葉;吳宇寧;王榮巧;徐海斌;袁聰
• 申請（專利權）人: 南京達邁科技實業有限公司
• 主分類號: C22C19/03
• 分類號: C22C19/03;C23C14/35
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 樓高潮

1.含微量稀土元素的鎳釩合金磁控濺射旋轉靶材，其特征在于該合金靶材成分按重量百分比計為：0.002%~0.05%RE，5%~9%V，余量為Ni和不可避免的雜質。

2.一種制備權利要求1所述的含微量稀土元素的鎳釩合金磁控濺射旋轉靶材的制備方法，其步驟如下：

⑴原料準備：電解鎳、海綿釩、稀土（RE混合稀土），按重量百分比，合金成分為：0.002%~0.05%RE，5%~9%V，余量為Ni和不可避免的雜質，其雜質含量﹤0.1%；

⑵真空冶煉：清除電解鎳表面污垢及氧化物后放入坩堝中，通電熔煉，熔煉溫度為1550~1650℃，熔煉時間為80min，熔煉過程中真空度小于8Pa，鑄錠前在真空狀態中先通氬氣4Mpa，然后再加入海綿釩鐵及混合稀土；?

⑶澆注：在真空和氬氣保護下進行澆注，澆注后在真空室內靜置50min，待鑄錠完全凝固后打開爐門，脫模，鋸切頭尾、車剝表面氧化皮，加工后的鑄錠呈圓柱形，光錠尺寸為?Φ220（大頭）×Φ185（小頭）×470（高）mm；

⑷熱鍛：將步驟（3）中鑄錠加熱至1250℃，保溫半小時后，進行鍛造，開鍛溫度為1250℃，終鍛溫度為1020℃，鍛造尺寸為?Φ95～Φ100×Lmm，然后再進行模鍛，鍛造尺寸為?（Φ92～Φ94）×Lmm；鍛棒經切頭尾，剝氧化皮，兩頭定中心孔，中心孔尺寸為Φ20×Φ20mm，光棒尺寸為Φ88～90×600mm；

⑸熱穿孔或熱擠壓：熱穿孔或熱擠壓的溫度1000℃~1200℃,?熱穿孔或熱擠壓后的尺寸規格為外徑D：60～180?mm?、壁厚S：45～150?mm?、長度Lmm；

⑹退火處理：退火溫度800~880℃，保溫1~1.5小時；

⑺冷拉：經表面清洗干凈的荒管進行拉制，冷拉加工變形率為50~80%；

⑻機加工：經車床精加工，制成外徑D：60～180?mm?、壁厚S：15～35?mm?、長度L:?1000～6000?mm的Ni-V-RE旋轉靶材。

3.?根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于步驟（8）所述的Ni-V-RE旋轉靶材的晶粒度為20μm～80μm，且晶粒大小分布均勻。