[發明專利]制造用于傳感元件的接收器的方法有效
| 申請號: | 201410011534.4 | 申請日: | 2014-01-10 |
| 公開(公告)號: | CN103922753B | 公開(公告)日: | 2018-05-22 |
| 發明(設計)人: | T.洛伊布爾;I.赫倫 | 申請(專利權)人: | 羅伯特·博世有限公司 |
| 主分類號: | C04B35/622 | 分類號: | C04B35/622;B28B19/00;G01L11/00 |
| 代理公司: | 中國專利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周鐵;林森 |
| 地址: | 德國斯*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制造 用于 傳感 元件 接收器 方法 | ||
本發明涉及用于制造適于傳感元件、特別是適于燃燒室壓力傳感器的接收器(10)的方法。通過這種方法能夠以特別簡單的和低成本的方式成型用于傳感元件的接收器(10),該接收器具有內置的和氣密性導入陶瓷體的導體帶。本發明還涉及用于制造傳感裝置的方法以及涉及接收器(10)。
技術領域
本發明涉及一種用于制造適于傳感元件的接收器的方法。本發明還涉及一種適于傳感元件的接收器。
背景技術
傳感元件廣泛用于探測各種物質。作為例如基于半導體(如基于硅/碳化硅材料組合)制造的直接測量式燃燒室壓力傳感器,例如己知在500℃或更高的使用溫度下例如在內燃機廢氣中使用的傳感元件。對這類傳感器或傳感元件,具有電引線的密封性阻隔是有利的。
由DE 102009000463已知一種用于制造氣體傳感器的阻隔模件的方法。該文獻涉及一種此類傳感元件,并未涉及適用于此的接收器(Aufnahme)。
發明內容
本發明的主題是用于制造適于傳感元件、特別是適于燃燒室壓力傳感器的接收器的方法,該方法包括下列方法步驟:
a) 將初次量的預陶瓷物質導入壓鑄模具中;
b) 通過所述壓鑄模具中的預陶瓷物質的成型而形成所述接收器的基層;
c) 在所述基層上施加至少一條導體帶;
d) 將附加量的預陶瓷物質導入所述壓鑄模具中的所述基層和所述至少一條導體帶的至少部分區域上;
e) 通過所述壓鑄模具中的附加預陶瓷物質的成型直接在所述基層上形成所述接收器的覆蓋區域從而至少部分覆蓋住所述至少一條導體帶;
f) 將所述成型體脫粘(Entbindern)和燒結。
通過上述方法可特別簡單和低成本地制造陶瓷的和特別是配置有內置的和呈氣密性導入的金屬導體帶的用于傳感元件的接收器。這種接收器可特別適用于燃燒室壓力傳感器,因為該接收器在可靠的氣密性下可經受高的運行溫度。
按上述方法,在第一方法步驟a)中將初次量的預陶瓷物質導入壓鑄模具中。本發明中,預陶瓷物質可特別是通過一個或多個步驟可成型成陶瓷固體的物質。在此,該預陶瓷物質可以是適于陶瓷壓鑄(CIM)的本己知的物質。由此,預陶瓷物質特別可以是一種也稱為進料的可燒結的粉末或具有合適粒度的顆粒,其可包括特別是氧化物陶瓷、硅酸鹽陶瓷和氮化物陶瓷或也可以是碳化物,并且還可與添加物(特別是粘合劑材料)組合存在。
與粘合劑組合的目的特別是可以用粘合劑包封所有粉末顆粒,由此可防止結塊,并產生特別均勻的顆粒。
為成型預陶瓷物質,將其導入壓鑄模具中。
在接下來的方法步驟b)中,通過在壓鑄模具中成型預陶瓷物質可形成該接收器的基層。這時例如可調節對陶瓷壓鑄本己知的參數。示例性地且非限制性地可應用直到200℃范圍的物料溫度、直到80℃范圍的如用于冷卻該物料的模具溫度、直到1600 bar的注入壓力、直到1200 bar的下游壓力和/或約大于或等于20秒至小于或等于60秒范圍的循環時間。如此成型的并也稱為坯件的成型構件作為預壓鑄件。
通過該成型步驟可得到一種例如呈半側的或在合適位置扁平成型的或其它形式成型(如波狀成型)的分離的模制體作為用于接收器的基層。在打開壓鑄模具后該基層可留在該模具中或型腔中,并可不受限地按如下所述在該基層上施加至少一條導體帶。
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