[發明專利]一種二維垂直腔面發射的激光器列陣

有效

• 申請號: 201410005718.X
• 申請日: 2014-01-06
• 公開（公告）號: CN103730833B
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 劉迪;王曉薇
• 申請（專利權）人: 海特光電有限責任公司
• 主分類號: H01S5/42
• 分類號: H01S5/42
• 代理公司: 北京中北知識產權代理有限公司11253
• 代理人: 馮夢洪

1.一種二維垂直腔面發射的激光器列陣，其包括面電極(1)和N個單元激光器件，N＝n²，n為大于3的整數，單元激光器件分布在面電極上，其特征在于：單元激光器件包括(n-2)²個中心區單元激光器件(2)、(n-1)*2個水平外圍單元激光器件(3)、(n-2)*2個垂直外圍單元激光器件(4)、2個邊緣單元激光器件(5)，每個單元激光器件的有源區直徑均為d且出光孔徑為r,相鄰兩個中心區單元激光器件之間的距離為D，D>d，中心區單元激光器件的排布方式為(n-2)×(n-2)的方形排布，垂直外圍單元激光器件位于第1列中心區單元激光器件及第(n-2)列中心區單元激光器件的外側，并且與第1列中心區單元激光器件及第(n-2)列中心區單元激光器件相鄰進行垂直排布，垂直外圍單元激光器件與相鄰的中心區單元激光器件的間距為d，水平外圍單元激光器件位于第1行中心區單元激光器件及第(n-2)行中心區單元激光器件的外側，并且以第1行中心區單元激光器件、第(n-2)行中心區單元激光器件以及與其在同一水平線上的垂直外圍單元激光器件為相鄰進行水平排布，其中位于邊緣4個角落的4個水平外圍單元激光器件均位于相鄰的中心區單元激光器件和垂直外圍單元激光器件的中垂線上且與中垂點距離為d，其余(n-3)×2個水平外圍單元激光器件均位于相鄰兩個中心區單元激光器件的中垂線上且與中垂點距離為d，邊緣單元激光器件位于該列陣的水平中心線上，當n為大于3的奇數時，邊緣單元激光器件與位于該列陣水平中心線上的垂直外圍單元激光器件相鄰，且間距為d，當n為大于3的偶數時，邊緣單元激光器件與位于該列陣水平中心線上、下兩側的垂直外圍單元激光器件相鄰，且與相鄰垂直外圍單元激光器件連線中垂點的間距為d；

D＝1.5d。

2.根據權利要求1所述的二維垂直腔面發射的激光器列陣，其特征在于：每個單元激光器件包括襯底(10)、在襯底上的下反射鏡(11)、在下反射鏡上的有源層(12)、位于有源層之上的氧化孔徑(13)、位于氧化層之上的上反射鏡(14)、上反射鏡外側的面電極(1)、襯底外側的下電極(15)，位于襯底上的出光孔徑(16)。

3.根據權利要求2所述的二維垂直腔面發射的激光器列陣，其特征在于：有源區直徑d與氧化孔徑相等。

4.根據權利要求1所述的二維垂直腔面發射的激光器列陣，其特征在于：n＝4。