[發明專利]平行四邊形截面梳狀結構氧化鋅及其制備方法

有效

• 申請號: 201410002625.1
• 申請日: 2014-01-03
• 公開（公告）號: CN103739004A
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 董紅星;柳洋;張龍;詹勁馨;李京周
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: C01G9/03
• 分類號: C01G9/03
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 張澤純

1.一種平行四邊形截面梳狀結構氧化鋅，其特征在于該梳狀結構的梳柄的截面為平行四邊形，梳齒為截面為四邊形或者六邊形。

2.根據權利要求1所述的平行四邊形截面梳狀結構氧化鋅，其特征在于梳柄和梳齒的截面的直徑均為1-10μm。

3.權利要求1所述的梳狀結構氧化鋅的制備方法，其特征在于該方法包括下列步驟：

①將Zn粉、Sb₂O₃粉和碳粉按摩爾比80～400:1:40～100配制原料；

②將所述的原料放入石英舟中，傾斜該石英舟將所述的原料堆至一角，并將覆有Au膜的基片傾斜放置在石英舟內所述的原料的上方，原料表面與所述的基片的表面的距離為2～3mm；

③封閉石英管，將所述的石英舟放入管式爐中，并向管內通入流量為5L/h的高純氮氣約20min，排除管內殘余空氣之后，調節氮氣流量3L/h作保護氣，將爐溫升至950～1100℃，溫度達到后，調節氣體流量為氮氣3～5L/h，氧氣0.01～0.09L/h，反應30～60min，反應完成后，關閉氧氣，自然降溫到室溫。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于所述的基片為單晶硅片、石英片或藍寶石片。