[發(fā)明專利]一種包含MEMS裝置的顯示設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380078376.8
• 申請日: 2013-08-20
• 公開（公告）號: CN105612439B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: K·林;N·R·安德里斯科
• 申請（專利權(quán)）人: 英特爾公司
• 主分類號: G02B5/08
• 分類號: G02B5/08;G02B26/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張金金;張懿

1.一種顯示設(shè)備，包括：

一個或多個微機電系統(tǒng)MEMS裝置，其中所述MEMS裝置中至少一個包含：

第一電極，包括部分反射性表面；

第二電極，包括部分反射性或全反射性的表面并且設(shè)置成基本平行于所述第一電極；以及

模擬致動裝置，耦合到所述第一電極、所述第二電極或所述第一和第二電極二者，以響應(yīng)于致動電壓選擇性地施加而引起所述第一電極從開始位置移動到多個終端位置中的所選擇的位置以引起所述MEMS裝置選擇性地以選擇的波長輸出光的反射，或沒有光的反射，

其中，所述MEMS裝置還包含設(shè)置在所述第二電極下方的反射率控制板，其中所述控制板包含反射板和配置成控制所述反射板的反射率的附加電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示設(shè)備，還包括配置成施加所述致動電壓的致動電路。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的設(shè)備，其中，所述開始位置對應(yīng)于所述致動電壓的第一值，并且所述終端位置對應(yīng)于所述致動電壓的第二值，其中所述第一值和所述第二值限定了所述致動電路的致動范圍。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述模擬致動裝置包括配置成抑制所述第一電極遠離開始位置的移動的彈簧。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中，所述彈簧配置成提供與用于移動所述第一電極遠離所述開始位置所施加的靜電力相反的非線性回復(fù)力。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中，所述彈簧是第一彈簧，并且所述模擬致動裝置還包含第二彈簧，其中所述彈簧與所述第一電極的相應(yīng)端部耦合。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的設(shè)備，其中，所述彈簧包含夾在所述第一和第二電極之間的彈性體基底，其中所述彈性體基底的高度限定了所述第一電極的所述開始位置與所述第二電極的表面之間的間隙。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的設(shè)備，其中，所述第一電極的所述開始位置與所述第二電極的所述表面之間的所述間隙對應(yīng)于所述多個終端位置的致動范圍。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述模擬致動電路包含梳狀致動器。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中，所述第二電極包含兩個電分離的部分，以響應(yīng)于所述致動電壓選擇性地施加到所述第二電極的所述第一或所述第二部分，引起所述第一電極朝向所述第二電極所選擇的所述第一或第二部分傾斜。

11.一種顯示設(shè)備，包括：

一個或多個微機電系統(tǒng)MEMS裝置，其中所述一個或多個MEMS裝置中的至少一個包含：

第一電極，包括部分反射性表面；

第二電極，包括部分反射性或全反射性表面，并且設(shè)置在所述第一電極的一側(cè)上，基本平行于所述第一電極；以及

第三電極，設(shè)置在所述第一電極的相對側(cè)上，基本平行于所述第一電極；

其中，當(dāng)沒有致動電壓施加到所述第二或所述第三電極，所述第一電極處于在所述第二和第三電極之間的開始位置，以及，響應(yīng)于所述致動電壓有選擇地施加到第三或第二電極，所述第一電極從所述開始位置可移動到在所述第二和第三電極之間的第一或第二位置，以引起所述MEMS裝置分別輸出第一波長的光的第一反射、不同于所述第一波長的第二波長的光的第二反射，或沒有光的反射，

其中所述MEMS裝置還包含設(shè)置在所述第二電極下方的反射率控制板，其中所述控制板包含反射板和設(shè)置成控制所述反射板的反射率的附加電極。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的顯示設(shè)備，進一步地包括：

致動電路，配置成選擇性地施加所述致動電壓到所述第二或第三電極，或保持來自所述第二和第三電極的所述致動電壓。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，所述第一電極的所述第一位置位于所述開始位置與所述第二電極之間，并且其中所述第二位置位于所述開始位置與所述第三電極之間。