[發(fā)明專利]靜電電容型壓力傳感器及輸入裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380074227.4 | 申請日： | 2013-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN105008879A | 公開（公告）日： | 2015-10-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 井上勝之;奧野敏明 | 申請（專利權）人： | 歐姆龍株式會社 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14;G01L5/00;G06F3/044;H01L29/84 |
| 代理公司： | 隆天知識產(chǎn)權代理有限公司 72003 | 代理人： | 金相允 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 電容 壓力傳感器 輸入 裝置 | ||
1.一種靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，具備：
固定電極；
電介質(zhì)層，其形成于所述固定電極的上方；
導電性的膜片，其隔著空隙形成于所述電介質(zhì)層的上方；以及
1個或多個突起，其設置于所述膜片的上表面。
2.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述突起設置于所述膜片的上表面中央部。
3.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述靜電電容型壓力傳感器具有保護膜，該保護膜覆蓋所述膜片的表面，
所述突起是通過與所述保護膜相同的材料來形成的。
4.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述突起是通過與所述膜片相同的材料而與所述膜片一體形成的。
5.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述突起的高度為所述空隙的高度以下。
6.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述突起的寬度為所述膜片的寬度的0.2倍以下。
7.根據(jù)權利要求6所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述突起的寬度為所述膜片的寬度的0.15倍以下。
8.根據(jù)權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
從與所述膜片垂直的方向觀察，在相對于相互正交的2條虛擬直線分別對稱的位置處設置有通氣路徑。
9.根據(jù)權利要求8所述的靜電電容型壓力傳感器，其特征在于，
所述通氣路徑屈曲或彎曲。
10.一種輸入裝置，其特征在于，是將權利要求1所述的靜電電容型壓力傳感器排列多個而成的。
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