[發明專利]基板載體配置與夾持基板的方法

有效

• 申請號: 201380070954.3
• 申請日: 2013-01-28
• 公開（公告）號: CN104937135B
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發明（設計）人: C-C·楊;A·布呂寧;R·欣特舒斯特;S-H·林;C-H·林
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 黃嵩泉

技術領域

本發明的實施例一般是有關于基板的處理，且特別是有關于用以夾持將被處理的薄基板的基板載體。再者，實施例有關于夾持將被處理的基板的方法。

背景技術

薄基板處理的重要性逐漸提高，舉例而言，薄玻璃片具有廣泛的應用，用于使用于電子裝置中的平板顯示器，電子裝置例如是移動電話、平板電腦、監視器及電視機。基板可被處理，以用于多種例如微電子工業中的應用，或用于提高電子及光電裝置的數目。因此，各種各樣的微電子、微技術、微光學、或組合的裝置是基于可以合適方式處理的基板。

當增加基板的面積時，薄基板的處理尤其困難。然而，對薄基板的處理來說，仍期望高生產率、短停機時間與高產量。

發明內容

有鑒于上述內容，根據獨立裝置權利要求，本公開提供一種基板載體，該基板載體用于夾持具有將被處理的表面的基板。再者，根據獨立方法權利要求，本公開提供一種方法，該方法用以夾持具有將被處理的表面的基板。

根據一實施例，提供一種基板載體，用以夾持具有將被處理的表面的基板，基板載體包括具有至少一個開口的第一板；以及用以至少部分地覆蓋第一板的開口的第二板，其中基板夾持在第一板與第二板之間，且將被處理的基板表面透過開口露出以進行處理。

根據另一實施例，提供一種基板載體，該基板載體用以夾持具有將被處理的基板表面的基板，基板載體包括夾持板；具有框架開口的至少一個框架；以及一個或更多個磁性元件，該一個或更多個磁性元件用于通過框架與夾持板之間的磁性作用，將基板固定在夾持板與框架之間，將被處理的基板表面透過框架開口露出以進行處理。

根據又另一實施例，提供一種方法，該方法用以夾持具有將被處理的表面的基板。該方法包括：提供第一板，放置基板于第一板上，放置第二板于基板上以夾持基板于第一板與第二板之間，其中第一板與第二板其中至少一個具有開口，特別是其中第二板與第一板其中至少一個至少部分地覆蓋開口，以及透過開口露出基板，以進行工藝。

根據又另一實施例，提供一種方法，該方法用以夾持具有將被處理的表面的基板。該方法包括提供具有至少一個開口的第一板；提供至少一個第二板；以第二板至少部分地覆蓋第一板的開口，其中基板位于第一板與第二板之間；以及透過開口露出將被處理的基板表面。

附圖說明

為了可詳細地了解本發明的上述的特性，以上簡要概述的本發明的更特定的說明可參照數個實施例。所附的圖式是有關于本發明的數個實施例，且于下述中說明：

圖1示意性地顯示形成有溝槽的基板載體板，溝槽用以容納將被處理的兩個基板；

圖2顯出具有溝槽與插入縫隙的基板載體板以提供有效率的薄基板的處理；

圖3繪示具有第一基板載體板與兩個第二基板載體板的基板載體配置，其中將被處理的基板夾持在第一基板載體板與第二基板載體板之間，基板載體配置是從背側顯示；

圖4是圖3的基板載體配置從沉積側的立體圖；

圖5是顯示在圖3中的基板載體配置的立體圖，其中已插入兩個將被處理的基板；

圖6為根據其他實施例的基板載體配置的示意性立體圖，基板載體配置包括安裝鉸鏈的基板載體板；

圖7是顯示在圖6中的基板載體配置的側面剖視圖；

圖8是又另一實施例的從處理側看的基板載體配置，其中有使用磁性框架；

圖9顯示圖8中示出的基板載體配置的背側；以及

圖10是圖示用于夾持具有將被處理的表面的基板的方法的流程圖。

具體實施方式

現在將要詳細地說明本發明的不同實施例，其一個或更多個例子繪示在圖示中。以下圖示的說明當中，相同的參考號碼表示相同的元件。一般而言，只描述有關于各別實施例的差異處。各個例子是以解釋本發明的方式被提供，而非用以限定本發明。再者，解釋或描述為一實施例的部分的特征可使用在其他實施例或與其他實施例結合以產生其他的實施例。可以包括這種潤飾與變形的描述。

于以下說明中，所描述的實施例特別關于基板載體配置，其允許夾持薄基板，例如但不限于聚對苯二甲酸乙二酯(polyethylene terephthalate；PET)基板。根據一典型的實施例，根據所述的實施例的基板載體配置可用于薄的片體或基板，例如PET薄片，具有范圍從0.1mm至0.2mm的厚度。基板載體配置可用在為厚度范圍從0.3mm至1.1mm的玻璃片所設計的玻璃片機械中。將被處理的薄基板可包括塑膠或薄玻璃基板。PET塑膠薄片可用于移動裝置中的抗反射應用，移動裝置例如是移動電話、平板電腦等，例如薄顯示器。