[發明專利]用于致動光學系統中的至少一個光學元件的裝置

在審

• 申請號: 201380058502.3
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN104781715A
• 公開（公告）日: 2015-07-15
• 發明（設計）人: M.豪夫;A.沃格勒
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT有限責任公司
• 主分類號: G02B7/18
• 分類號: G02B7/18;G02B7/182;G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 邱軍

1.用于致動光學系統中的至少一個光學元件的裝置，其中，所述光學元件(101)通過具有接合件剛度的至少一個接合件(102)能夠關于至少一個傾斜軸線傾斜，所述裝置包含：

·至少一個致動器(104)，用于對所述光學元件(101)施加力；

·其中，所述致動器(104)具有至少部分地補償所述接合件剛度的致動器剛度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述致動器剛度和所述接合件剛度在所述致動器(104)的預定工作范圍內具有彼此相反符號。

3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，在所述致動器(104)的預定工作范圍內，所述致動器剛度和所述接合件剛度在絕對值方面彼此偏離所述致動器剛度的相應值的最大50％。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，在所述致動器(104)的預定工作范圍內，所述致動器剛度和所述接合件剛度在絕對值方面彼此偏離所述致動器剛度的相應值的最大30％。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，在所述致動器(104)的預定工作范圍內，所述致動器剛度和所述接合件剛度在絕對值方面彼此偏離所述致動器剛度的相應值的最大10％。

6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，在所述致動器(104)的預定工作范圍內，所述致動器剛度和所述接合件剛度在絕對值方面彼此偏離所述致動器剛度的相應值的最大5％。

7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，在所述致動器(104)的預定工作范圍內，所述致動器剛度和所述接合件剛度在絕對值方面彼此偏離所述致動器剛度的相應值的最大1％。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述致動器(104)具有轉子(103,603)和定子(109,609)，所述轉子具有至少一個磁體(106-108)，所述定子包括可施加有電流的線圈(112,612)。

9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，用于真空密封的分離層設置在所述轉子(603)和所述定子(609)之間。

10.根據權利要求1-7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述裝置具有用于所述光學元件(101)的平行導軌(420)。

11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述平行導軌(420)將作用在轉子(103,603)和定子(109,609)之間的力轉化為平行于所述致動器(104)的驅動方向的力分量，使得所述力分量至少部分地補償所述接合件剛度。

12.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述平行導軌(420)由兩個片彈簧元件(421,422)構造。

13.根據權利要求1-7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述光學元件(101)能夠關于至少兩個傾斜軸線傾斜。

14.根據權利要求13所述的裝置，其特征在于，所述光學元件(101)能夠關于兩個相互垂直的傾斜軸線傾斜。

15.根據權利要求1-7中任一項所述的裝置，其特征在于，所述光學系統具有多個光學元件，其中，所述元件中的每一個分別分配至少一個這種致動器。

16.根據權利要求15所述的裝置，其特征在于，所述光學元件能夠彼此獨立地進行調節。

17.根據權利要求15所述的裝置，其特征在于，分配給所述光學元件的致動器布置在至少兩個不同平面中。