[發明專利]物理蒸鍍處理方法和物理蒸鍍處理裝置

在審

• 申請號: 201380053125.4
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN104685096A
• 公開（公告）日: 2015-06-03
• 發明（設計）人: 藤井博文
• 申請（專利權）人: 株式會社神戶制鋼所
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 陳國慧;李婷

1.?一種物理蒸鍍處理方法，其特征在于，包含：

準備物理蒸鍍處理裝置，所述物理蒸鍍處理裝置包括內部為真空的真空腔室和設置在該真空腔室的內部的陽極和陰極，上述陽極和上述陰極中的至少一方是冷卻對象電極，在該冷卻對象電極中形成有冷卻流路的至少一部分；

通過在上述陽極與上述陰極之間產生放電而使上述陰極蒸發，從而進行物理蒸鍍處理；

當進行上述物理蒸鍍處理時使冷卻介質在上述冷卻流路中流通，對上述冷卻對象電極進行冷卻，并且切換該冷卻介質的流通方向以使其反轉。

2.?如權利要求1所述的物理蒸鍍處理方法，其特征在于，

作為上述物理蒸鍍處理裝置，使用設置在上述冷卻對象電極中的冷卻流路分支為多個分支流路的物理蒸鍍處理裝置，通過將上述冷卻介質分配到多個分支流路中的各個分支流路并使上述冷卻介質在所述各個分支流路中流通，來進行該冷卻對象電極的冷卻。

3.?如權利要求1所述的物理蒸鍍處理方法，其特征在于，

將上述物理蒸鍍處理以批次處理進行，針對各批次處理，進行上述冷卻流路中的冷卻介質的流通方向的切換。

4.?如權利要求1所述的物理蒸鍍處理方法，其特征在于，

將上述陰極的使用壽命劃分為多個期間，針對所劃分的每個期間，進行上述冷卻流路中的冷卻介質的流通方向的切換。

5.?一種物理蒸鍍處理裝置，其特征在于，包括：

真空腔室，內部為真空；

設置在該真空腔室的內部的陽極和陰極，通過在這些陽極與陰極之間產生放電，使上述陰極蒸發，從而能夠進行物理蒸鍍處理；和

冷卻機構，將上述陽極和上述陰極中的至少一方作為冷卻對象電極冷卻，

上述冷卻機構包括冷卻流路和流通方向切換部，所述冷卻流路包括形成在上述冷卻對象電極中的流路，并且用于冷卻該冷卻對象電極的冷卻介質能夠在所述流路的內部流通，所述流通方向切換部進行切換以使上述冷卻流路中的冷卻介質的流通方向交替地反轉。

6.?如權利要求5所述的物理蒸鍍處理裝置，其特征在于，

上述冷卻流路具有：第1冷卻流路，使冷卻介質從上述冷卻對象電極的一端側朝向另一端側流通，來進行該冷卻對象電極的冷卻；和第2冷卻流路，使冷卻介質從上述電極的另一端側朝向一端側流通，來進行該電極的冷卻，上述流通方向切換部將冷卻介質所流通的流路在第1冷卻流路與第2冷卻流路之間切換。

7.?如權利要求5所述的物理蒸鍍處理裝置，其特征在于，

上述陽極和上述陰極中的至少上述陽極是上述冷卻對象電極，上述陰極由沿上下方向延伸的圓柱體構成，上述陽極包括從上述陰極的上端朝向該陰極的徑向外側隔開距離地配備的上部環狀電極、從上述陰極的下端向該陰極的徑向外側隔開距離地配備的下部環狀電極、和將上述上部環狀電極與下部環狀電極上下連結的多個棒狀電極，上述冷卻流路包括形成在上述上部環狀電極的內部的環狀的上側中空部、形成在上述下部環狀電極的內部的環狀的下側中空部、和多個中間中空部，所述中間中空部是沿著上述各棒狀電極的軸心形成的中空部，將上述上側中空部與上述下側中空部連通。