[發(fā)明專利]緊湊、低色散以及低像差自適應光學掃描系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380051892.1 | 申請日： | 2013-10-11 |
| 公開（公告）號： | CN104769481B | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | B·M·波特賽義德;J·J·塔蘭托;A·E·凱布爾 | 申請（專利權(quán)）人： | 統(tǒng)雷有限公司 |
| 主分類號： | G02B26/00 | 分類號： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 廣州嘉權(quán)專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人： | 譚英強 |
| 地址： | 美國新*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 自適應光學 掃描系統(tǒng) 緊湊 反光鏡 色差 傳統(tǒng)透鏡 光束投影 光學性能 離軸像差 低色散 模塊化 運動軸 轉(zhuǎn)送器 校準 光瞳 色散 像差 投影 掃描 優(yōu)化 挑戰(zhàn) | ||
1.一種自適應光學掃描系統(tǒng)，包含：
用于產(chǎn)生光束的發(fā)射源(705)；
一個或多個自適應光學元件(715)，所述自適應光學元件(715)影響光束的波前，影響光束的強度，或者影響所述波前和強度兩者；
樣本傳送光學器件(730)，所述樣本傳送光學器件(730)適當?shù)卣{(diào)節(jié)所述光束并且將所述光束引導到所述樣本(710)上；
光束投影模塊(720)，所述光束投影模塊(720)利用與兩個或兩個以上反射鏡相關(guān)聯(lián)的四個或四個以上運動軸進行操作并且控制光束的角度和位置，以通過在所述自適應光學元件上或附近創(chuàng)建或調(diào)節(jié)光束樞軸點來對接所述自適應光學元件(715)，同時橫跨所述樣本(710)來掃描所述光束，其中所述四個或四個以上運動軸與光束掃描機制的軸相對應，并且其中所述光束投影模塊創(chuàng)建光束樞軸點，其被用作所述光束轉(zhuǎn)向機制和所述自適應光學元件之間的鏈路，而沒有轉(zhuǎn)送所述光束的波前和強度分布；
控制器(725)，用于控制在所述光束投影模塊(720)中的所述運動軸的運動軌跡；
一個或多個檢測器(735)，所述檢測器(735)測量來自所述樣本(710)的光。
2.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學掃描系統(tǒng)執(zhí)行光學相干斷層掃描(OCT)，其中所述自適應光學掃描系統(tǒng)為了獲得干涉的OCT信號，進一步包括干涉儀(110)、樣本路徑(115)和參考路徑(120)。
3.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學掃描系統(tǒng)執(zhí)行多光子成像，其中所述自適應光學掃描系統(tǒng)進一步包括在所述光路徑中的分色鏡(194)以及所述檢測器(735)測量彈射并多次散射的熒光或來自所述樣本(710)發(fā)射的光。
4.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述樣本(710)的特征在于有關(guān)空間的屬性。
5.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)是可變形反射鏡。
6.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)是液晶空間光調(diào)制器。
7.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件的數(shù)量是兩個或更多個，其中所述兩個或更多個自適應光學元件(715)的至少第一自適應光學元件，相比于所述兩個或更多個自適應光學元件(715)的第二自適應光學元件，具有不同的校正范圍，致動器或像素排列，致動器或像素間距，或時間響應。
8.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)補償由所述樣本引起的像差。
9.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)補償在所述自適應光學掃描系統(tǒng)內(nèi)的殘余像差。
10.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述光束投影模塊(720)的至少一個軸是旋轉(zhuǎn)的。
11.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述光束投影模塊(720)包含至少一個快速轉(zhuǎn)向反射鏡(FSM)。
12.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述光束投影模塊(720)包含至少一個轉(zhuǎn)向反射鏡，聲光偏轉(zhuǎn)器，旋轉(zhuǎn)多面體、電光光束偏轉(zhuǎn)器、電光棱鏡、熱光棱鏡或衍射陣列。
13.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)被共軛到所述系統(tǒng)的光瞳平面。
14.如權(quán)利要求1所述的自適應光學掃描系統(tǒng)，其中所述自適應光學元件(715)被共軛到所述系統(tǒng)光瞳平面的外部平面以改善自適應光學校正。
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