[發(fā)明專利]用于質(zhì)譜儀在高壓時的改進(jìn)性能的射頻(RF)離子引導(dǎo)器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201380049574.1 | 申請日： | 2013-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN104662638B | 公開（公告）日： | 2017-07-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | G·佩雷爾曼;T·里斯特羅菲 | 申請（專利權(quán)）人： | 安捷倫科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J49/06 | 分類號： | H01J49/06;H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)11484 | 代理人： | 劉彬 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 質(zhì)譜儀 高壓 改進(jìn) 性能 射頻 rf 離子 引導(dǎo) | ||
1.一種質(zhì)譜儀，其具有保持在第一壓力的入口以及保持在比所述第一壓力更小的第二壓力的區(qū)域(211)，所述入口配置為接收離子引導(dǎo)器(102)，其中，所述離子引導(dǎo)器(102)包括：
基板(1001)，其包括其上部署的多個電極(1003)，所述基板(1001)在第一端(209)處形成第一開孔(806)并且在第二端(210)處形成第二開孔(807)，其中，所述第一開孔(806)配置為接收處于所述第一壓力的離子(802)；
用于在相鄰成對的所述多個電極(1003)之間施加射頻電壓的部件，其中，射頻電壓在所述基板(1001)限定的區(qū)域(211)中形成場；
用于沿著所述多個電極(1003)中的每一個的長度而施加直流(DC)電壓降的部件；以及
多個溝道(1004)，其提供在所述基板(1001)中，其中，所述多個溝道(1004)之一提供在所述多個電極(1003)中的相應(yīng)兩個之間。
2.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀，其中，所述基板(1001)是第一基板(201)，所述多個電極(1003)是第一多個電極(1003)，所述離子引導(dǎo)器(102)還包括：第二基板(203)，其包括其上所部署的第二多個電極(1003)，所述第一基板(201)和所述第二基板(203)在所述第一端(209)形成所述第一開孔(806)的各側(cè)，并且在所述第二端(210)形成所述第二開孔(807)的各側(cè)。
3.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第一開孔(806)具有第一面積，所述第二開孔(807)具有比所述第一面積更小的第二面積。
4.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第一開孔(806)具有第一面積，所述第二開孔(807)具有與所述第一面積實(shí)質(zhì)上相同的第二面積。
5.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀，其中，所述基板(1001)是平面的。
6.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第一基板(201)實(shí)質(zhì)上是平面的，所述第二基板(203)是實(shí)質(zhì)上平面的。
7.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀，還包括：接口限制器，其部署在離子源(101)與離子引導(dǎo)器(102)之間，其中，所述離子源(101)處于比所述第一壓力更大的第三壓力。
8.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀，還包括：第三基板(206)，其部署在所述離子引導(dǎo)器(102)的側(cè)壁(208)之上；第四基板(1001)，其部署在所述離子引導(dǎo)器(102)的另一側(cè)壁(208)之上。
9.如權(quán)利要求8所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第三基板(206)和所述第四基板(1001)均包括所述第三基板和第四基板的相應(yīng)整個表面之上所部署的導(dǎo)電材料。
10.如權(quán)利要求9所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第三基板(206)包括其上所部署的第三多個電極(1003)，所述第四基板(1001)包括其上所部署的第四多個電極(1003)。
11.如權(quán)利要求10所述的質(zhì)譜儀，還包括：
用于在相鄰配對的所述第三多個電極(1003)之間以及在相鄰配對的所述第四多個電極(1003)之間施加射頻電壓的部件。
12.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第一開孔(806)具有第一面積，所述第二開孔(807)具有第二面積，所述第一面積比所述第二面積更大。
13.如權(quán)利要求2所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第一多個電極(1003)實(shí)質(zhì)上彼此平行，所述第二多個電極(1003)實(shí)質(zhì)上彼此平行。
14.如權(quán)利要求7所述的質(zhì)譜儀，其中，所述第三壓力是大氣壓力。
15.如權(quán)利要求1所述的質(zhì)譜儀，其中，所述多個溝道(1004)中的每一個具有寬度(1005)，所述溝道(1004)中的每一個具有深度(1006)，所述深度(1006)比所述寬度(1005)大一至三倍。
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