[發明專利]用于產生電子束的裝置

有效

• 申請號: 201380046452.7
• 申請日: 2013-03-12
• 公開（公告）號: CN104603078B
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發明（設計）人: V·利索特申克
• 申請（專利權）人: 利拉茨有限公司
• 主分類號: C03C23/00
• 分類號: C03C23/00;H01J37/06;H01J37/147;H01J37/15;H01J37/305
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所11038
• 代理人: 張立國

1.用于產生電子束(4、4')的裝置(20、21、22、22')，包括

——熱陰極(1)，

——陰極電極(2)，

——具有開口(6)的陽極電極(3)，由所述裝置(20、21、22、22')產生的電子束(4、4')能夠穿過該開口，其中，在裝置運行時，在陰極電極(2)和陽極電極(3)之間施加有用于加速從熱陰極(1)射出的電子的電壓，

——偏轉機構，該偏轉機構能夠偏轉穿過陽極電極(3)的開口的電子束(4、4')，

其特征在于，所述偏轉機構包括至少一個偏轉電極(8、12)，在所述偏轉電極上電子束(4、4')能夠被反射和所述偏轉電極具有相對于電子束(4、4')的傳播方向傾斜的偏轉面(9)，并且

所述至少一個偏轉電極(8、12)處于與陰極電極(2)相同的電勢上。

2.按照權利要求1所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，在所述至少一個偏轉電極(8、12)的偏轉面(9)上的法線與在熱陰極(1)和在所述至少一個陽極電極(3)中的開口(6)之間的連接線形成在0°至90°之間的角(β)。

3.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一個偏轉電極(8、12)連接到與陰極電極(2)相同的電壓源(7)上。

4.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述裝置(20、21、22、22')包括另外的電極(10、13)，所述另外的電極相對于所述至少一個偏轉電極(8、12)具有正電勢并且能使電子在與所述至少一個偏轉電極(8、12)相互作用之后加速。

5.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一個偏轉電極(8、12)的偏轉面(9)是彎曲的。

6.按照權利要求4所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述熱陰極(1)構成為金屬絲并且沿著設置成垂直于電子束(4、4')傳播方向的縱向方向延伸，以實現電子束(4、4')的線形橫截面，其中，線形橫截面的縱向方向平行于形成熱陰極(1)的金屬絲的縱向方向。

7.按照權利要求6所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，用作熱陰極(1)的金屬絲和/或所述陰極電極(2)和/或所述陽極電極(3)和/或所述至少一個偏轉電極(8、12)和/或所述另外的電極(10、13)被沿著形成熱陰極(1)的金屬絲的縱向方向劃分成多個區段。

8.按照權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述陰極電極(2)和/或所述陽極電極(3)和/或所述至少一個偏轉電極(8、12)和/或所述另外的電極(10、13)沿著形成熱陰極(1)的金屬絲的縱向方向無橫截面變化地延伸。

9.按照權利要求6所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述陰極電極(2)和/或所述陽極電極(3)和/或所述至少一個偏轉電極(8、12)和/或所述另外的電極(10、13)沿著形成熱陰極(1)的金屬絲的縱向方向具有至少一種結構，所述結構能實現沿著線形橫截面的縱向方向調制電子束(4、4')。

10.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述至少一個偏轉電極(8、12)的偏轉面(9)是能運動的。

11.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述熱陰極(1)、陰極電極(2)和陽極電極(3)的構造和/或驅控與皮爾斯-電子槍的構造和/或驅控相當。

12.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述偏轉機構包括兩個互相對置的電極(15、16)，在這兩個互相對置的電極之間施加交變電壓，電子束(4、4')能夠通過該交變電壓偏轉，使得電子束(4)的束輪廓由此能夠有針對性地形成。

13.按照權利要求12所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述交變電壓具有大于10kHz的頻率。

14.按照權利要求1或2所述的裝置(20、21、22、22')，其特征在于，所述裝置(20、21、22、22')包括加熱機構，該加熱機構能夠對所述至少一個偏轉電極(8、12)加熱。