[發明專利]表面特征映射

有效

• 申請號: 201380035014.0
• 申請日: 2013-05-09
• 公開（公告）號: CN104412079B
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: J·W·艾和;S·K·麥克勞林
• 申請（專利權）人: 希捷科技有限公司
• 主分類號: G01J1/10
• 分類號: G01J1/10
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 姬利永

交叉引用

本申請要求2012年5月9日提交的美國臨時專利申請No.61/644,998的權益。

背景技術

在生產線上制造的物品可被檢查某些特征，包括可降級物品或包括該物品的系統的性能的缺陷。例如，硬盤驅動器的硬盤可在生產線上被制造并且可被檢查某些表面特征，包括可降級硬盤或硬盤驅動器的性能的表面和次表面缺陷。因此，應得可操作以檢查物品的特征(諸如缺陷)的裝置和方法。

發明內容

本文中所提供的是一種裝置，包括用于將光子發射到物品的表面上的光子發射裝置；用于檢測從物品的表面中的特征散射的光子的光子檢測裝置；以及用于映射物品的表面中的特征的映射裝置，其中此裝置被配置成每100秒處理多于一個物品。

參考以下附圖、描述以及所附權利要求書將更佳地理解本發明的這些和其它特征和方面。

附圖說明

圖1提供了根據實施例的示出了物品的表面特征的檢測的示意圖。

圖2提供了根據實施例的示出了從物品的表面特征散射的光子的示意圖。

圖3提供了根據實施例的示出了從物品的表面特征散射的光子通過光學部件并到光子檢測器陣列上的示意圖。

圖4提供了根據實施例的物品的表面特征的映射的圖像。

圖5提供了圖4所提供的表面特征的映射的特寫圖像。

圖6A(頂部)提供了來自圖5所提供的映射的表面特征的特寫圖，并且圖6A(底部)提供了表面特征的光子散射強度分布。

圖6B(頂部)提供了來自圖6A的表面特征的像素插值圖像，并且圖6B(底部)提供了表面特征的像素插值的光子散射強度分布。

描述

在更詳細地描述本發明的實施例之前，由具有本發明所屬領域的普通技術的人員應當理解，本發明不限于本文中所描述和/或示出的特定實施例，因為這些實施例中的元素可變化。同樣地應當理解，本文中所描述和/或示出的特定實施例具有可容易地與特定實施例分開并可選地與若干其它實施例中的任何一個進行結合或代替本文中所描述的若干其它實施例中的任何一個中的元素的元素。

由具有本發明所屬領域的普通技術的人員也應當理解，這里所用的術語是出于描述本發明的特定實施例的目的，并且該術語不旨在是限制性的。除非另外說明，序數(例如，第一、第二、第三等)被用于區分或識別一組元件或步驟中的不同元件或步驟，并且不在所聲稱的發明的元件或步驟或本發明的特定實施例上提供序列或數值限制。例如“第一”、“第二”和“第三”元件或步驟不需要必須以該順序出現，并且所聲稱的發明或本發明的特定實施例不需要必須被限制于三個元件或步驟。還應當理解，除非另外說明，任何標記，諸如“左”、“右”、“前”、“后”、“頂”、“底”、“正向”、“反向”、“順時針”、“逆時針”、“上”、“下”或其它類似的術語，諸如“上部”、“下部”、“尾部”、“頭部”、“垂直的”、“水平的”、“近端的”、“遠端的”等等是為了方便而使用并且不旨在意味著，例如，任何特定的固定位置、取向或方向。相反，這些標記被用于反映，例如，相對位置、取向或方向。還應當理解，“一”、“一種”以及“該”的單數形式包括復數引用，除非上下文明確地指出相反情況。

除非另外定義，否則本文所使用的所有技術和科學術語具有與本發明所屬領域的普通技術人員所共知的一樣的意思。

在生產線上制造的物品可被檢查某些特征，包括可降級物品或包括該物品的系統的性能的缺陷。例如，硬盤驅動器的硬盤可在生產線上被制造并且可被檢查某些表面特征，包括可降級硬盤或硬盤驅動器的性能的表面和次表面缺陷。本文中所提供的是用于檢查物品以檢測和/或映射某些表面特征(諸如表面和/或次表面缺陷)的裝置和方法。現在將更詳細地描述本發明的實施例。