[發明專利]壓電器件、壓電致動器、硬盤驅動器、噴墨打印機裝置和壓電傳感器有效
| 申請號： | 201380033316.4 | 申請日： | 2013-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN104395087B | 公開（公告）日： | 2017-05-31 |
| 發明（設計）人： | 倉知克行;會田康弘;佐久間仁志;前島和彥 | 申請（專利權）人： | TDK株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/14 | 分類號： | B41J2/14;G11B5/48;H01L41/053;H01L41/08;H01L41/09;H01L41/113 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司11322 | 代理人： | 楊琦 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 器件 致動器 硬盤驅動器 噴墨打印機 裝置 傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電器件，其中，
包括：
第一電極膜；
第一非金屬導電性中間膜，其設置在所述第一電極膜上；
壓電膜，其設置在所述第一非金屬導電性中間膜上；
第二非金屬導電性中間膜，其設置在所述壓電膜上；以及
第二電極膜，其設置在在所述第二非金屬導電性中間膜上，
所述第一非金屬導電性中間膜的線性膨脹系數大于所述第一電極膜的線性膨脹系數和所述壓電膜的線性膨脹系數，并且
所述第二非金屬導電性中間膜的線性膨脹系數大于所述第二電極膜的線性膨脹系數和所述壓電膜的線性膨脹系數。
2.根據權利要求1所述的壓電器件，其中，
所述第一非金屬導電性中間膜和第二非金屬導電性中間膜與所述壓電膜直接接觸。
3.根據權利要求1所述的壓電器件，其中，
在所述第二電極膜的頂面上沒有基板，并且在所述第一電極膜的底面上也沒有基板。
4.根據權利要求1所述的壓電器件，其中，
所述第一非金屬導電性中間膜和第二非金屬導電性中間膜分別是無機氧化膜。
5.根據權利要求4所述的壓電器件，其中，
兩個所述無機氧化膜具有相同的組成。
6.一種壓電致動器，其中，
包括根據權利要求1所述的壓電器件。
7.一種硬盤驅動器，其中，
包括根據權利要求1所述的壓電器件。
8.一種噴墨裝置，其中，
包括根據權利要求1所述的壓電器件。
9.一種壓電傳感器，其中，
包括根據權利要求1所述的壓電器件。
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