[發(fā)明專利]等離子體坩堝密封

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380030440.5
• 申請日: 2013-05-03
• 公開（公告）號: CN104395984B
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·S·尼特;B·普勒斯頓
• 申請（專利權(quán)）人: 塞拉維申有限公司
• 主分類號: H01J9/395
• 分類號: H01J9/395;H01J9/40;H01J65/04
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11280
• 代理人: 王勇,王博

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體坩堝密封和密封的等離子體坩堝。

背景技術(shù)

在我們的PCT/GB2008/003829中，描述并請求保護(hù)了一種由微波能量供能的光源，該光源具有：

·固態(tài)等離子體坩堝，其材料是透明的，用于使光從其中離開，該等離子體坩堝中具有密封中空，

·圍繞等離子體坩堝的法拉第罩，該罩至少部分透光，用于使光從該等離子體坩堝離開，同時，該罩被微波包封，

·在所述中空中的可由微波能量激發(fā)的材料的填充物，用于在其中形成發(fā)光等離子體，以及

·布置在等離子體坩堝中的天線，用于將誘導(dǎo)等離子體的微波能量傳輸至填充物，該天線具有：

·在等離子體坩堝外部延伸的連接部，用于耦合至微波能量源；

該布置使得來自該中空中的等離子體的光能夠傳播通過該等離子體坩堝并且經(jīng)由該罩從等離子體坩堝中輻射出去。

在該申請中，我們給出如下定義：

“透明”是指構(gòu)成被描述為透明的物品的材料是透明的或半透明的；

“等離子體坩堝”是指(用于)包封等離子體的封閉主體，當(dāng)中空中的填充物被來自天線的微波能量激發(fā)時，該等離子體位于中空中。在本申請中，我們繼續(xù)使用該定義，但是是在對坩堝進(jìn)行密封的情況下，該坩堝在密封的過程中不包含等離子體。因此，如本文所使用的，該定義包括詞語“用于”。

我們已經(jīng)將上述申請中的技術(shù)稱為發(fā)光諧振器或LER技術(shù)。

在本申請中，我們定義：

“填充的等離子體坩堝”是指在其中空中密封有可激發(fā)的發(fā)光填充物的透明等離子體坩堝。

這種填充的等離子體坩堝可以具有固定地密封在坩堝內(nèi)(可能在中空中)的天線，或者坩堝中的凹腔，天線插入凹腔中以備坩堝的使用。

在我們的國際申請No.WO 2010/094938(我們的’938申請)中，描述并請求保護(hù)了一種密封填充的等離子體坩堝的方法，其包括如下步驟：

·提供具有開放中空的透明材料的等離子體坩堝，所述中空具有開口；

·提供遠(yuǎn)離坩堝的開口延伸的管，所述管氣密性地密封至所述坩堝；

·通過管將可激發(fā)材料插入中空；

·通過管將中空抽空；

·通過管將惰性氣體導(dǎo)入中空；以及

·通過在開口處或開口附近密封管來密封中空，包封可激發(fā)材料和惰性氣體。

在我們的’938申請的特定實(shí)施例中：

·所述中空在中空的開口處具有用于栓塞的擋片，以及

·栓塞位于開口處，通過管抵住擋片，栓塞和開口的形狀互補(bǔ)，用于定位栓塞以用于其在開口中的密封，以及栓塞和開口具有間隙和/或局部成形以允許氣體流出和流入中空。

在另一替代中，栓塞可以抵住坩堝的平面表面來密封。

在其他實(shí)施例中，不使用栓塞，管位于并且熔融于坩堝的表面?？商娲?，管可以位于并且熔融于坩堝的表面上中空的開口處的擴(kuò)孔內(nèi)。

在填充的等離子體坩堝的一些應(yīng)用中，其可以通過保持從坩堝延伸的管來支持。在其他應(yīng)用中，管將在靠近封口處移除且由其主體來支持。

我們已經(jīng)改進(jìn)了我們技術(shù)，進(jìn)一步包括我們的國際申請No.PCT/GB2011/001744(我們的’744申請)中的技術(shù)，雖然該申請還未公布，但是其描述并請求保護(hù)了：

一種透明波導(dǎo)電磁波等離子體光源，包括：

·固態(tài)介電透明材料的制造件，所述制造件至少具有：

·封閉中空，包含電磁波可激發(fā)的等離子體材料；

·法拉第罩：

·包封制造件；

·對于從其中發(fā)出的光是至少部分透明的，以及

·限定波導(dǎo)，所述波導(dǎo)具有：

·波導(dǎo)空間，所述制造件占據(jù)波導(dǎo)空間的至少一部分；以及

·用于在至少大致被固態(tài)介電材料包圍的位置處將激發(fā)等離子體的電磁波引入波導(dǎo)中的至少部分感應(yīng)耦合的部件；

因而，在引入特定頻率的電磁波時，在中空中產(chǎn)生等離子體并且光經(jīng)由法拉第罩發(fā)出；

·這樣的布置具有：

·波導(dǎo)空間的第一區(qū)域，其在該區(qū)域中的法拉第罩的相對的側(cè)面之間延伸，該第一區(qū)域：

·容納感應(yīng)耦合部件，以及

·具有相對較高的體積平均介電常數(shù)，以及

·波導(dǎo)空間的第二區(qū)域，其在該區(qū)域中的法拉第罩的相對的側(cè)面之間延伸，該第二區(qū)域：

·具有相對較低的體積平均介電常數(shù)。