[發(fā)明專利]蓋開閉裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380030404.9
• 申請日: 2013-04-17
• 公開（公告）號: CN104380455B
• 公開（公告）日: 2016-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 深谷師康
• 申請（專利權(quán)）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B65D55/02;B65D85/86;H01L21/673
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在收納被收納物的收納容器中進行蓋部相對于容器主體的開閉的蓋開閉裝置。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠的潔凈室中，半導(dǎo)體晶片或者玻璃基板等以收納于收納容器的狀態(tài)被輸送。因此，在收納容器與各種裝置之間移載被收納物時，需要使用蓋開閉裝置進行蓋部相對于容器主體的開閉。以往，為了迅速進行蓋部相對于容器主體的開閉，提出了在蓋開閉裝置設(shè)置平衡收納容器的內(nèi)外壓力差的壓力平衡機構(gòu)等各種技術(shù)(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：日本專利第3180600號公報

在上述半導(dǎo)體裝置或者液晶顯示裝置等的制造工廠中，嚴(yán)格要求各種部件的輸送效率的提高。因此，為了提高輸送效率，在將蓋部安裝于容器主體時，也要求防止容器主體的抬起以及錯位從而準(zhǔn)確地安裝蓋部。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的是提供一種能夠在容器主體準(zhǔn)確安裝蓋部的蓋開閉裝置。

本發(fā)明的一個方面的蓋開閉裝置對具備收納被收納物的容器主體、成為能夠相對于容器主體開閉的底部且載置被收納物的蓋部、以及進行蓋部相對于容器主體的開鎖以及上鎖的鎖機構(gòu)的收納容器，進行蓋部相對于容器主體的開閉，上述蓋開閉裝置具備：裝置主體，其載置收納容器；移動部，其具有在收納容器載置于裝置主體時與鎖機構(gòu)卡合的卡合部，該移動部通過使卡合部移動而進行用于使鎖機構(gòu)實施開鎖的開鎖動作、以及用于使鎖機構(gòu)實施上鎖的上鎖動作；以及容器固定部，在使鎖機構(gòu)進行開鎖的情況下，該容器固定部與移動部聯(lián)動而將容器主體固定于裝置主體。

在該蓋開閉裝置中，在使移動部移動而使鎖機構(gòu)進行開鎖的情況下，容器固定部與移動部聯(lián)動，將容器主體固定于裝置主體。這樣，與鎖機構(gòu)的開鎖動作聯(lián)動地將容器主體固定于裝置主體，所以例如在鎖機構(gòu)為開鎖狀態(tài)時安裝蓋部的情況下，也能夠抑制容器主體抬起以及蓋部錯位等的產(chǎn)生。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置，能夠?qū)⑸w部準(zhǔn)確安裝于容器主體。

這里，優(yōu)選，上述移動部還具有：多個轉(zhuǎn)動部件，所述轉(zhuǎn)動部件具有卡合部，并且在裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動而使卡合部移動；連結(jié)部件，其至少將一對轉(zhuǎn)動部件連結(jié)并使所述轉(zhuǎn)動部件轉(zhuǎn)動；以及致動器，其安裝于裝置主體，對連結(jié)部件施加驅(qū)動力，容器固定部與連結(jié)部件的移動聯(lián)動。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，使用連結(jié)部件至少連結(jié)一對轉(zhuǎn)動部件，從而能夠使設(shè)置于該一對轉(zhuǎn)動部件的卡合部在同一時刻動作。由此，能夠同時進行與多個轉(zhuǎn)動部件的卡合部對應(yīng)設(shè)置的多個鎖機構(gòu)的開鎖動作以及上鎖動作。因此，能夠抑制多個鎖機構(gòu)的開鎖動作以及上鎖動作產(chǎn)生差別而產(chǎn)生例如容器主體抬起以及蓋部錯位等。因此，根據(jù)該蓋開閉裝置，能夠?qū)⑸w部更準(zhǔn)確地安裝于容器主體。

優(yōu)選，容器固定部具有按壓容器主體的按壓部件、和將按壓部件向容器主體施力的施力部件，移動部還具有聯(lián)動部件，該聯(lián)動部件以如下方式動作：在實施上鎖動作時使按壓部件朝克服施力部件的作用力的方向離開容器主體，在實施開鎖動作時允許施力部件對按壓部件的施力。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在固定容器主體時能夠利用施力部件的作用力將按壓部件按壓于容器主體，所以不需要用于固定容器主體的特別的致動器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選，容器固定部還具有手柄部，該手柄部的基端側(cè)在裝置主體支承為能夠轉(zhuǎn)動且該手柄部的前端側(cè)能夠移動，按壓部件是能夠與容器主體彈性抵接的彈性輥，能夠轉(zhuǎn)動地安裝于手柄部的前端側(cè)，施力部件是對上述手柄部的前端側(cè)施力的彈簧，聯(lián)動部件是凸輪從動件，該凸輪從動件固定于該連結(jié)部件上的能夠伴隨著連結(jié)部件的移動而與手柄部抵接以及分離的位置，并使手柄部轉(zhuǎn)動。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，使容器固定部為能夠轉(zhuǎn)動的手柄部，利用凸輪從動件使手柄部轉(zhuǎn)動，從而能夠使彈性輥對容器主體的按壓動作以及按壓的解除動作與移動部的移動聯(lián)動。由此，不需要用于使手柄部轉(zhuǎn)動的專用的致動器等，能夠簡化裝置結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)節(jié)省電力。

根據(jù)本發(fā)明的一個方面，可提供能夠?qū)⑸w部準(zhǔn)確安裝于容器主體的蓋開閉裝置。

附圖說明

圖1是具備本發(fā)明的一實施方式的蓋開閉裝置的儲料器的主視圖。

圖2是儲料器沿圖1的II－II線的剖視圖。

圖3是儲料器沿圖1的III－III線的剖視圖。

圖4是本發(fā)明的一實施方式的蓋開閉裝置的縱剖視圖。

圖5是圖4的蓋開閉裝置的俯視圖。

圖6是其它狀態(tài)下的圖4的蓋開閉裝置的縱剖視圖。

圖7是利用圖4的蓋開閉裝置開閉蓋部的箱體的仰視圖。

圖8是圖7的箱體的鎖機構(gòu)的放大圖。