[發明專利]用于制備具有低氧含量的銅電沉積物的添加劑

有效

• 申請號: 201380027336.0
• 申請日: 2013-04-15
• 公開（公告）號: CN104428452B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: T·皮爾遜
• 申請（專利權）人: 麥克德米德尖端有限公司
• 主分類號: C25D3/38
• 分類號: C25D3/38
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所(普通合伙)11216
• 代理人: 劉激揚

1.一種用于制備銅電沉積物的銅電鍍浴，該銅電鍍浴包含：

a)可溶的銅鹽；

b)包含一種以上的酸的電解質；以及

c)包含烷基二胺的晶粒細化添加劑；

其中該二胺具有下列結構：

(1)R₁-R₂-N-R₃-N-R₄-R₅，

其中R₁、R₂、R₄和R₅為氫或C₁-C₄烷基，R₃為C₄-C₁₄烷基。

2.根據權利要求1的銅電鍍浴，其中該可溶的銅鹽是從由硫酸銅、氟硼酸銅及氨基磺酸銅所組成的群組中選出的。

3.根據權利要求2的銅電鍍浴，其中該可溶的銅鹽包含硫酸銅。

4.根據權利要求1的銅電鍍浴，其中該一種以上的酸是從由硫酸、氟硼酸、磷酸、硝酸、氨基磺酸及一種以上前述物質的組合所構成的群組中選出的。

5.根據權利要求4的銅電鍍浴，其中該一種以上的酸包含硫酸。

6.根據權利要求1的銅電鍍浴，其中該二胺包含4,4-二氨基-2,2-二甲基雙環己基甲烷。

7.根據權利要求1的銅電鍍浴，其中該二胺在該電鍍浴中的濃度為10ppm～10g/L。

8.根據權利要求7的銅電鍍浴，其中該二胺在該電鍍浴中的濃度為100ppm～1000ppm。

9.根據權利要求1的銅電鍍浴，其包含具有一個以上硫原子的光亮劑。

10.根據權利要求9的銅電鍍浴，其中該光亮劑包含磺烷基砜化合物。

11.根據權利要求9的銅電鍍浴，其中該光亮劑是從由n,n-二甲基-二硫胺甲酸-(3-磺丙基)酯、3-巰基-丙基磺酸-(3-磺丙基)酯、3-巰基-丙基磺酸(鈉鹽)、具有3-巰基-1-丙烷磺酸(鉀鹽)的碳酸-二硫基-o-乙基酯-s-酯、雙磺丙基二硫醚；3-(苯并噻唑基-s-硫基)丙基磺酸(鈉鹽)、吡啶丙基磺基甜菜堿、1-鈉-3-巰基丙烷-1-磺酸鹽、二烷基氨基-硫雜-甲基-硫烷磺酸的過氧化物氧化產物、及一種以上前述物質的組合所構成的群組中選出。

12.根據權利要求9的銅電鍍浴，其中該光亮劑以1ppm～40ppm的濃度存在于該電解質中。

13.根據權利要求1的銅電鍍浴，其包含整平劑。

14.一種制造銅電鑄物的方法，該方法包括以下步驟：

a)從酸性銅電鍍浴將銅電沉積到心軸上，其中該酸性銅電鍍浴包含：

i)可溶的銅鹽；

ii)包含一種以上的酸的電解質；及

iii)包含烷基二胺的晶粒細化添加劑；

其中該二胺具有下列結構：

(1)R₁-R₂-N-R₃-N-R₄-R₅，

其中R₁、R₂、R₄和R₅為氫或C₁-C₄烷基，R₃為C₄-C₁₄烷基；并且

b)從該心軸上分離該電沉積銅。

15.根據權利要求14的方法，其中該可溶的銅鹽是從由硫酸銅、氟硼酸銅和氨基磺酸銅所組成的群組中選出。

16.根據權利要求15的方法，其中該可溶的銅鹽包含硫酸銅。

17.根據權利要求14的方法，其中該一種以上的酸是從由硫酸、氟硼酸、磷酸、硝酸、氨基磺酸及一種以上前述物質的組合所構成的群組中選出的。

18.根據權利要求17的方法，其中該一種以上的酸包含硫酸。

19.根據權利要求14的方法，其中該二胺包含4,4-二氨基-2,2-二甲基雙環己基甲烷。