[發明專利]用于運輸自由基的裝置和方法

有效

• 申請號: 201380025372.3
• 申請日: 2013-03-20
• 公開（公告）號: CN104321701B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: P.克魯伊特;M.斯米茨
• 申請（專利權）人: 邁普爾平版印刷IP有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H01J37/32;H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 陳堯劍

1.用于運輸自由基的裝置(1；1’)，該裝置包括：

等離子體發生器，包括其中可以形成等離子體的室(2)，該室包括用于接收輸入氣體的進口(5)，和用于排除在室中產生的等離子體和自由基中的至少一者的一個或多個出口(6)；以及

中空的導向體(9)，用于朝向要除去的污染沉積物所在的區域或空間引導在所述等離子體中形成的自由基；

其中所述室的進口連接到壓力裝置(40)，該壓力裝置用于向所述室中提供脈動的壓力，以便在所述導向體中產生流。

2.如權利要求1所述的裝置，其中所述壓力裝置是閥。

3.用于運輸自由基的裝置(1；1’)，該裝置包括：

等離子體發生器，包括其中可以形成等離子體的室(2)，該室包括用于接收輸入氣體的進口(5)，和一個或多個出口(6)，該出口用于排除在室中產生的等離子體和自由基中的至少一者；以及

中空的導向體(9)，其連接到所述室的一個或多個出口，用于朝向要除去的污染沉積物所在的區域或空間引導在所述等離子體中形成的自由基；

其中所述室內的壓力可以臨時增大，以形成具有足夠強度的流，以拖引自由基。

4.如權利要求3所述的裝置，其中所述臨時的壓力增大被周期性執行。

5.如前述權利要求中任一項所述的裝置，進一步包括壓力調節器(8)，該壓力調節器(8)具有進口和出口，所述進口具有第一橫截面面積，所述出口具有第二橫截面面積，所述第一橫截面面積大于所述第二橫截面面積，所述壓力調節器的進口連接到所述一個或多個室的出口，所述壓力調節器的出口連接到所述導向體。

6.如權利要求5所述的裝置，其中所述壓力調節器配備有用于接收另外的進口氣體的另外的進口(35)。

7.用于運輸自由基的裝置(1；1’)，該裝置包括：

等離子體發生器，包括其中可以形成等離子體的室(2)，該室包括用于接收輸入氣體的進口(5)，和一個或多個出口(6)，該出口用于排除在室中產生的等離子體和自由基中的至少一者；

中空的導向體(9)，其連接到所述室的一個或多個出口，用于朝向要除去的污染沉積物所在的區域或空間引導在所述等離子體中形成的自由基；以及

壓力調節器(8)，具有進口和出口，所述進口具有第一橫截面面積，所述出口具有第二橫截面面積，所述第一橫截面面積大于所述第二橫截面面積，所述壓力調節器的進口連接到所述一個或多個室的出口，所述壓力調節器的出口連接到所述導向體；

其中所述壓力調節器配備有用于接收另外的進口氣體的另外的進口(35)。

8.如權利要求5至7中任一項所述的裝置，其中所述壓力調節器采取漏斗(8)的形式。

9.如權利要求5至8中任一項所述的裝置，其中所述壓力調節器的出口配備有所述導向體可拆裝地附接到其上的延伸部分。

10.如權利要求9所述的裝置，進一步包括護罩(400)，用于放置在所述導向體與所述壓力調節器的出口的延伸部分之間的連接上。

11.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述中空的導向體采取管子(9)的形式。

12.如權利要求11所述的裝置，其中所述管子具有彎曲(11)或轉彎(13)。

13.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述等離子體發生器進一步包括圍繞在所述室外側的射頻線圈(4)，用于在所述室內生成等離子體。

14.如前述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述室配備有限流器，諸如有孔壁。

15.用于連接到含有等離子體的室的壓力調節器，所述壓力調節器具有進口和出口，所述進口用于接收在室中產生的等離子體和自由基中的至少一者，且具有第一橫截面面積，所述出口具有第二橫截面面積，所述第一橫截面面積大于所述第二橫截面面積，所述壓力調節器的進口連接到等離子體室，所述壓力調節器的出口可拆裝地附接到中空體。

16.如權利要求15所述的壓力調節器，其中所述壓力調節器采取漏斗(8)的形式。

17.如權利要求16或17所述的壓力調節器，其中所述壓力調節器配備有用于接收進口氣體的另外的進口(35)。