[發明專利]滾筒模具的制作裝置及制作方法

有效

• 申請號: 201380025153.5
• 申請日: 2013-05-10
• 公開（公告）號: CN104380206B
• 公開（公告）日: 2017-03-08
• 發明（設計）人: 伊藤直人;北田敏夫
• 申請（專利權）人: 旭化成株式會社
• 主分類號: G03F7/24
• 分類號: G03F7/24;B29C33/38;B29C59/04;H01L21/027
• 代理公司: 上海市華誠律師事務所31210
• 代理人: 肖華

1.一種滾筒模具的制作裝置，其是制作用于轉印圖案的滾筒狀的壓模即滾筒模具的裝置，所述滾筒模具的制作裝置的特征在于，包括：

照射裝置，對于涂布有抗蝕劑的所述滾筒模具，所述照射裝置在使該滾筒模具停止旋轉的狀態下將被照射物照射至規定范圍；

掩模，其具有使自該照射裝置照射的被照射物的一部分透過的功能；

旋轉驅動裝置，其使所述滾筒模具繞旋轉軸旋轉；

旋轉量檢測傳感器，其在利用該旋轉驅動裝置使所述滾筒模具旋轉時，檢測所述滾筒模具的旋轉量；

控制裝置，其接收該旋轉量檢測傳感器的檢測信號，且發送用于調整所述被照射物被照射至所述滾筒模具的所述抗蝕劑上時的圓周方向照射位置的控制信號；以及

致動器，其基于來自該控制裝置的控制信號而使所述掩模直線狀移動，

在使所述滾筒模具停止旋轉的狀態下將所述被照射物照射至規定范圍，使該滾筒模具旋轉規定量并停止，并調整將所述被照射物照射至另一規定范圍時的圓周方向照射位置。

2.如權利要求1所記載的滾筒模具的制作裝置，其特征在于，

所述掩模使透過后的所述被照射物形成為多束平行光。

3.如權利要求1或2所記載的滾筒模具的制作裝置，其特征在于，

所述致動器使所述掩模在與所述被照射物的照射方向垂直的方向上移動。

4.如權利要求3所記載的滾筒模具的制作裝置，其特征在于，

所述致動器為壓電致動器。

5.如權利要求1至4中任一項所記載的滾筒模具的制作裝置，其特征在于，

所述被照射物為電子束。

6.如權利要求1至4中任一項所記載的滾筒模具的制作裝置，其特征在于，

所述被照射物為光。

7.一種滾筒模具的制作方法，其是制作用于轉印圖案的滾筒狀的壓模即滾筒模具的方法，所述滾筒模具的制作方法的特征在于，

使自曝光裝置照射的被照射物透過掩模而形成為多束被照射物；

使涂布有抗蝕劑的所述滾筒模具繞旋轉軸旋轉并成為停止在規定位置的狀態；

檢測所述滾筒模具的旋轉量，從控制裝置發送用于對所述被照射物的在所述滾筒模具的所述抗蝕劑上的圓周方向照射位置進行調整的控制信號；

基于該控制信號使所述掩模直線狀移動；

對所述被照射物的在所述滾筒模具的所述抗蝕劑上的照射位置進行調整；以及

對該滾筒模具照射透過了所述掩模的被照射物。

8.如權利要求7所記載的滾筒模具的制作方法，其特征在于，

使透過所述掩模之后的所述被照射物形成為多束平行光。

9.如權利要求7或8所記載的滾筒模具的制作方法，其特征在于，

通過致動器使所述掩模在與所述被照射物的照射方向垂直的輥圓周方向上移動。