[發(fā)明專利]用于CMP后去除的組合物及使用方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380018815.6
• 申請日: 2013-02-15
• 公開（公告）號: CN104508072A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉俊;杰弗里·A·巴尼斯;埃馬紐爾·I·庫珀;孫來生;伊麗莎白·托馬斯;杰森·張
• 申請（專利權(quán)）人: 安格斯公司
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;H01L21/304
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11219
• 代理人: 楊青;穆德駿

1.一種用于從表面上清潔殘留物和污染物的組合物，所述組合物包含至少一種氧化劑、至少一種絡(luò)合劑、至少一種堿性化合物、至少一種緩沖劑和水，其中所述組合物基本不含胺、季堿、含有氟化物的來源和在化學(xué)機(jī)械拋光過程中通常使用的研磨材料。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中pH在7～約12的范圍內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的組合物，其中所述至少一種堿性化合物包括選自KOH、CsOH、氫氧化銨及其組合的物質(zhì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的組合物，其中所述至少一種堿性化合物包括KOH。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種絡(luò)合劑包括選自以下的物質(zhì)：乳酸、馬來酸、抗壞血酸、蘋果酸、檸檬酸、苯甲酸、富馬酸、琥珀酸、乙二酸、丙二酸、扁桃酸、馬來酸酐、鄰苯二甲酸、天門冬氨酸、谷氨酸、戊二酸、乙醇酸、乙醛酸、苯基乙酸、奎尼酸、均苯四酸、酒石酸、對苯二甲酸、偏苯三酸、苯均三酸、葡糖酸、甘油酸、甲酸、乙酸、丙酸、丙烯酸、己二酸、衣康酸、葡糖醛酸、甘氨酸、賴氨酸、β-丙氨酸、組氨酸、苯丙氨酸、半胱氨酸、亮氨酸、絲氨酸、8-羥基喹啉、2,4-戊二酮、苯四羧酸、丙酮酸、鞣酸、磺胺酸、2-羥基膦酰基羧酸(HPAA)、鄰苯二酚、焦棓酚、五倍子酸、鞣酸、乙二胺四乙酸(EDTA)、二乙烯三胺五乙酸(DTPA)、(1,2-環(huán)己烯二次氮基)四乙酸(CDTA)、亞氨基二乙酸、2-膦酰基丁烷-1,2,4-三羧酸(PBTCA)、膦酸、羥基亞乙基二膦酸(HEDP)、1-羥基乙烷-1,1-二膦酸、次氮基-三(亞甲基膦酸)、水楊酸、對甲苯磺酸、磺基水楊酸及其衍生物，及其任意組合。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種絡(luò)合劑包括檸檬酸、膦酸衍生物、磺基水楊酸或其衍生物，及其任意組合。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種氧化劑包括選自以下的物質(zhì)：臭氧、硝酸、鼓泡空氣、環(huán)己基氨基磺酸、過氧化氫、FeCl₃、過硫酸氫鉀制劑(2KHSO₅·KHSO₄·K₂SO₄)、過氧單硫酸銨、亞氯酸銨、氯酸銨、碘酸銨、過硼酸銨、高氯酸銨、高碘酸銨、過硫酸銨、次氯酸銨、高硼酸鈉、過硫酸鈉、次氯酸鈉、碘酸鉀、高錳酸鉀、過硫酸鉀、過硫酸鉀、次氯酸鉀、亞氯酸四甲基銨、氯酸四甲基銨、碘酸四甲基銨、過硼酸四甲基銨、高氯酸四甲基銨、高碘酸四甲基銨、過硫酸四甲基銨、過氧單硫酸四丁基銨、過氧單亞硫酸、硝酸鐵、N-甲基嗎啉-N-氧化物、三甲胺-N-氧化物、三乙胺-N-氧化物、吡啶-N-氧化物、N-乙基嗎啉-N-氧化物、N-甲基吡咯烷-N-氧化物、N-乙基吡咯烷-N-氧化物、過氧化脲、過氧乙酸、高碘酸、重鉻酸鉀、氯酸鉀、2-硝基苯酚、1,4-苯醌、過苯甲酸、過苯二甲酸鹽、氧化釩、偏釩酸銨、鎢酸銨、硝酸鈉、硝酸鉀、硝酸銨、硝酸鍶、硫酸及其組合。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種氧化劑包括選自過氧化氫、NMMO、過氧化脲及其組合的物質(zhì)。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種緩沖劑包括選自以下的物質(zhì)：磷酸氫二鉀、碳酸鉀、硼酸、賴氨酸、脯氨酸、β-丙氨酸、乙二胺四乙酸(EDTA)、二乙烯三胺五乙酸(DTPA)、二甲基乙二肟、二堿式磷酸鹽(K₂HPO₄)、三堿式磷酸鹽(K₃PO₄)、二堿式磷酸鹽與三堿式磷酸鹽的混合物、二堿式碳酸鹽與三堿式碳酸鹽的混合物、羥基亞乙基二膦酸及其組合。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的組合物，其中所述至少一種緩沖劑包括選自以下的物質(zhì)：二堿式磷酸鹽(K₂HPO₄)、三堿式磷酸鹽(K₃PO₄)、二堿式磷酸鹽與三堿式磷酸鹽的混合物、HEDP及其組合。