[發(fā)明專利]膜組件及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201380010789.2
• 申請日: 2013-03-27
• 公開（公告）號(hào): CN104159655B
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 志岐智;伊藤隆;鬼塚賢三;山田輝久
• 申請（專利權(quán)）人: 旭化成株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B01D63/00
• 分類號(hào): B01D63/00;B01D63/02
• 代理公司: 北京坤瑞律師事務(wù)所 11494
• 代理人: 張平元

本發(fā)明提供一種膜組件，其具備筒狀殼體和在筒狀殼體內(nèi)以下述狀態(tài)被收納的膜，所述狀態(tài)是被樹脂固定且能夠從筒狀殼體的至少一側(cè)的端部導(dǎo)出過濾水的狀態(tài)。上述樹脂在使用熱水的溶出試驗(yàn)中，每單位表面積、單位時(shí)間的氯化物離子的溶出速度低于10μg/(m²·hr)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種在用于過濾時(shí)從膜組件的溶出少、特別適于在溶出標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格的用途中使用的膜組件及其制造方法。

背景技術(shù)

在用于半導(dǎo)體的清洗等的超純水制造工序中，在即將到達(dá)使用點(diǎn)之前的微粒除去中使用超濾膜組件。對超純水而言，微粒自不必言，還要求降低溶解性的無機(jī)物及有機(jī)物的水平。因此，對于在超純水制造工序中使用的膜組件，需要減少無機(jī)物、有機(jī)物從膜組件向超純水中的溶出。

作為自膜組件的溶出源，由于從接觸液面的面積最大的膜的溶出最成問題，因此，目前為止主要研究減少從膜的溶出。在專利文獻(xiàn)1中記載有為了抑制從用于超純水用的過濾器的溶出，使用通過茂金屬催化劑聚合的原料。在專利文獻(xiàn)2中記載有由不含會(huì)溶出無機(jī)物及有機(jī)物的添加物的聚烯烴制作膜。這些均為減少自膜的溶出的技術(shù)。另外，在專利文獻(xiàn)3中記載有使用膜組件時(shí)，通過預(yù)先進(jìn)行清洗來減少溶出的方法。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國際公開第2005/84777號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2010-234344號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本專利第4296469號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

然而，由于近年來半導(dǎo)體集成度的提高，以往未被視作問題的低濃度的氯化物離子的溶出導(dǎo)致的絕緣不良等也開始被視作問題，要求減少至1位數(shù)ng/L水平。本發(fā)明人等反復(fù)進(jìn)行了氯化物離子溶出減少的研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，最為影響氯化物離子從膜組件的溶出的不是膜，而是用于膜組件鑄封的環(huán)氧樹脂。對于自膜組件的鑄封樹脂層的初期的溶出，通過專利文獻(xiàn)3中那樣的清洗，可某種程度上減少。但已發(fā)現(xiàn)，由于鑄封樹脂層通常具有10mm以上的厚度，因此，來自鑄封樹脂層的溶出成分不能簡單地清洗干凈，一定程度量的溶出會(huì)長時(shí)間持續(xù)。針對這樣的問題，本發(fā)明人等著眼于鑄封樹脂層的氯化物離子的溶出性，發(fā)現(xiàn)通過使用低氯化物離子溶出性的樹脂，可以減少氯化物離子從膜組件的溶出，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)以現(xiàn)有的膜組件所無法實(shí)現(xiàn)的低氯化物離子溶出性的膜組件。

用于解決問題的方法

目前，就來自膜組件的溶出而言，來自與流體接觸面積最大的膜的溶出成為問題。本發(fā)明人等對來自膜以外的構(gòu)成材料的溶出也進(jìn)行了研究，發(fā)現(xiàn)通過減少來自膜的鑄封中所使用的樹脂的溶出，可以大幅減少來自膜組件的溶出，從而完成了以下發(fā)明。

即，本發(fā)明提供一種膜組件，其具備筒狀殼體和在筒狀殼體內(nèi)以被樹脂固定且能夠從筒狀殼體的至少一側(cè)的端部導(dǎo)出過濾水的狀態(tài)被收納的膜，上述樹脂在使用熱水的溶出試驗(yàn)中，每單位表面積、單位時(shí)間的氯化物離子的溶出速度低于10μg/(m²·hr)。通過使用這樣的樹脂，可得到氯化物離子的溶出非常少的膜組件。這種膜組件適于超純水用途。

在本發(fā)明中，優(yōu)選固定膜時(shí)使用的樹脂在90℃的拉伸彈性模量為10MPa以上且低于600MPa。通過使用這樣的樹脂，也可以在特別是氯化物離子的溶出成為問題的熱水中使用。進(jìn)而，上述樹脂優(yōu)選在使用熱水的溶出試驗(yàn)中每單位表面積、單位時(shí)間的TOC成分(Total Organic Carbon)溶出速度低于200μg/(m²·hr)。在超純水的膜組件中，除減少氯化物離子的溶出以外，減少有機(jī)物的溶出也很重要。